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针型视神经刺激微电极阵列的研究

摘要第1-9页
ABSTRACT第9-11页
1.第一章 绪论第11-27页
     ·引言第11-12页
     ·微电极的分类第12-16页
       ·微丝微电极第12页
       ·玻璃毛细管微电极第12-13页
       ·微加工电极第13-16页
     ·硅基材料针型微电极第16-20页
       ·Utah工艺第16-18页
       ·Acreo工艺第18-19页
       ·Michigan工艺第19-20页
     ·非硅基材料针型微电极第20-24页
       ·UCLA工艺第21-22页
       ·MIT工艺第22-23页
       ·东京大学工艺第23-24页
     ·微电极的功能分类第24-25页
     ·本工作的研究思路第25页
     ·本章小结第25-27页
2.第二章 钨丝针型微电极的工艺研究第27-49页
     ·设计目标第27页
     ·材料选择第27-28页
     ·设计思想第28-29页
     ·工艺流程第29-47页
       ·硅基模具的制备第29-33页
       ·钨丝退火处理第33-34页
       ·钨丝电化学抛光第34-35页
       ·钨丝绝缘工艺第35-38页
       ·钨丝镶嵌与固定第38页
       ·钨丝电极刺激点暴露第38-40页
       ·SU-8电极固定座第40页
       ·微电极释放第40-41页
       ·针尖工艺第41-46页
       ·导线互联第46-47页
     ·工艺总结第47页
     ·本章小结第47-49页
3.第三章 针型微电极性能测试第49-57页
     ·物理学性质测试第49-50页
     ·电学性能测试第50-53页
     ·体外生物性质测试第53-54页
     ·体内电生理测试第54-55页
     ·本章小结第55-57页
4.第四章 总结与展望第57-59页
5.参考文献第59-65页
6.发表文章目录第65-66页
7.参与申请专利目录第66-67页
8.致谢第67-68页
9.作者简历第68-69页

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