晶圆传输机器人伺服控制系统关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题的背景及研究目的和意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第8-13页 |
| ·晶圆传输机器人的控制方法研究现状 | 第10-11页 |
| ·运动控制器的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 晶圆传输机器人系统分析及轨迹规划 | 第14-25页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·晶圆传输机器人本体分析 | 第14-15页 |
| ·晶圆传输机器人运动学及动力学分析 | 第15-18页 |
| ·晶圆传输机器人运动学分析 | 第15-17页 |
| ·晶圆传输机器人动力学分析 | 第17-18页 |
| ·晶圆传输机器人关节空间轨迹规划算法 | 第18-24页 |
| ·插值函数研究 | 第18-23页 |
| ·改进的B 样条曲线 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 晶圆传输机器人开放式运动控制器技术研究 | 第25-37页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·晶圆传输机器人控制系统特性分析 | 第25-26页 |
| ·晶圆传输机器人控制器综合性能要求分析 | 第26页 |
| ·伺服系统控制器总体设计 | 第26-28页 |
| ·控制系统硬件结构框图 | 第27-28页 |
| ·主控制器系统设计 | 第28-32页 |
| ·控制器主控芯片的选择 | 第28-29页 |
| ·主控制器外围电路设计 | 第29-30页 |
| ·DA 输出模块设计 | 第30页 |
| ·脉冲输出模块设计 | 第30-31页 |
| ·驱动器输出模块设计 | 第31-32页 |
| ·协控制器电路设计 | 第32-36页 |
| ·协控制器芯片选择 | 第33页 |
| ·编码器信号处理 | 第33-35页 |
| ·DSP 系统与CPLD 连接 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 晶圆传输机器人伺服控制算法研究 | 第37-54页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·模糊-PID 复合控制算法 | 第37-46页 |
| ·传统PID 控制 | 第37-39页 |
| ·模糊控制算法 | 第39-40页 |
| ·模糊-PID 复合控制 | 第40-46页 |
| ·控制算法软件实现 | 第46-52页 |
| ·算法实现软件总体结构 | 第46-47页 |
| ·伺服控制系统软件 | 第47-51页 |
| ·调试系统软件设计 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 晶圆传输机器人控制系统实验研究 | 第54-61页 |
| ·晶圆传输机器人实验系统 | 第54-55页 |
| ·电机驱动输出实验 | 第55页 |
| ·R 轴和T 轴直线合成运动实验 | 第55-56页 |
| ·模糊-PID 算法实验 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
