基于九步法的PVD生产良率提升的应用研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题的研究背景及目标 | 第10-11页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 研究目标 | 第11页 |
| 1.2 解决问题的方法论比较及应用介绍 | 第11-16页 |
| 1.2.1 主流解决问题方法的比较 | 第11-13页 |
| 1.2.2 主流解决问题方法应用的发展 | 第13-16页 |
| 1.3 物理气相沉积技术的简介 | 第16-17页 |
| 1.3.1 物理气相沉积技术的简介 | 第16-17页 |
| 1.4 论文架构说明 | 第17-19页 |
| 1.4.1 论文架构说明 | 第17-19页 |
| 第二章 九步法的原理与方法 | 第19-30页 |
| 2.1 九步法的原理与基本应用 | 第19-22页 |
| 2.2 九步法的方法详述 | 第22-29页 |
| 2.2.1 实施九步法前的准备 | 第22-23页 |
| 2.2.2 第一步定义问题 | 第23页 |
| 2.2.3 第二步分解问题 | 第23-25页 |
| 2.2.4 第三步目标设定 | 第25页 |
| 2.2.5 第四步根本原因分析 | 第25-26页 |
| 2.2.6 第五步解决方法 | 第26-27页 |
| 2.2.7 第六步快速试验 | 第27页 |
| 2.2.8 第七步完成计划 | 第27-28页 |
| 2.2.9 第八步确认结果和标准化流程 | 第28页 |
| 2.2.10 第九步 反思和行动 | 第28-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 问题定义与分析 | 第30-50页 |
| 3.1 定义问题 | 第30-37页 |
| 3.1.1 定义问题 | 第30-35页 |
| 3.1.2 拆分问题 | 第35-37页 |
| 3.1.3 设定目标 | 第37页 |
| 3.2 根本原因分析 | 第37-48页 |
| 3.2.1 找出麻点原因 | 第41-46页 |
| 3.2.2 找出脏污原因 | 第46-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 解决方法 | 第50-62页 |
| 4.1 解决方法的准备 | 第50-56页 |
| 4.1.1 外部颗粒造成麻点的原因分析 | 第50-54页 |
| 4.1.2 油污残留造成脏污的原因分析 | 第54-56页 |
| 4.2 快速试验及解决方法 | 第56-60页 |
| 4.2.1 麻点问题快速试验及解决方法 | 第56-59页 |
| 4.2.2 脏污问题快速试验及解决方法 | 第59-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 结果确认及标准化 | 第62-67页 |
| 5.1 措施的结果确认 | 第62-64页 |
| 5.2 流程标准化 | 第64-65页 |
| 5.3 反思和行动 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 本文的不足及展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第72页 |
