| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 引言 | 第5-12页 |
| ·论文工作的目的和意义 | 第5-7页 |
| ·排队论的产生与发展 | 第7-8页 |
| ·排队论的研究趋势和在半导体制造中的应用 | 第8-12页 |
| 第二章 半导体制造设备的最优控制 | 第12-28页 |
| ·单一半导体制造设备的最优控制 | 第12-23页 |
| ·模型的合理化假设与符号说明 | 第13-15页 |
| ·模型的建立与求解 | 第15-19页 |
| ·模型的结果和进一步分析 | 第19-23页 |
| ·多半导体制造设备的最优控制 | 第23-28页 |
| 第三章 在制品重复进入的深入分析 | 第28-44页 |
| ·在制品重复进入的特殊性 | 第28-31页 |
| ·在制品重复进入的数学矩阵 | 第31-35页 |
| ·在制品重复进入排队策略优化方法的理论依据 | 第35-39页 |
| ·在制品重复进入数学矩阵的优化方法 | 第39-44页 |
| 附件 | 第44-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 后记 | 第49-50页 |