| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 柔性传感器的研究概述 | 第9-19页 |
| 1.2.1 应变式传感器基本原理 | 第11-14页 |
| 1.2.2 柔性应变传感器的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 湿度传感器介绍 | 第15-17页 |
| 1.2.4 柔性湿度传感器的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 柔性衬底材料的概述 | 第19-23页 |
| 1.3.1 LCP材料及相关工艺的介绍 | 第21-23页 |
| 1.3.2 LCP在柔性传感器领域的应用 | 第23页 |
| 1.4 本论文主要工作及纲要 | 第23-25页 |
| 第二章 基于LCP衬底的柔性应变传感器的设计与制备 | 第25-35页 |
| 2.1 柔性应变传感器材料的选择 | 第26-28页 |
| 2.1.1 柔性应变传感器衬底材料的选择 | 第26-27页 |
| 2.1.2 柔性应变传感器应变敏感材料的选择 | 第27-28页 |
| 2.2 柔性应变传感器的工作原理及结构设计 | 第28-30页 |
| 2.2.1 柔性应变传感器的工作原理 | 第28页 |
| 2.2.2 柔性应变传感器的结构设计 | 第28-30页 |
| 2.3 柔性应变传感器的制备 | 第30-34页 |
| 2.3.1 柔性应变传感器金属电极的制备 | 第30-32页 |
| 2.3.2 柔性应变传感器应变敏感薄膜的制备 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于LCP衬底的柔性应变传感器的测试与分析 | 第35-45页 |
| 3.1 柔性应变传感器的线性标定与分析 | 第35-38页 |
| 3.2 柔性应变传感器的静态与动态的测试与分析 | 第38-43页 |
| 3.3 柔性应变传感器的可靠性测试与分析 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 基于LCP衬底的柔性湿度传感器的设计与制备 | 第45-51页 |
| 4.1 柔性湿度传感器的工作原理与结构设计 | 第45-46页 |
| 4.2 柔性湿度传感器的制备 | 第46-49页 |
| 4.2.1 柔性湿度传感器湿度敏感材料的选择 | 第46-47页 |
| 4.2.2 柔性湿度传感器的制备工艺 | 第47-49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 基于LCP衬底的柔性湿度传感器的测试与分析 | 第51-57页 |
| 5.1 柔性湿度传感器的静态特性测试与分析 | 第51-54页 |
| 5.2 柔性湿度传感器的动态测试与分析 | 第54-56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 工作总结 | 第57页 |
| 6.2 工作展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读硕士期间发表论文和申请专利 | 第67页 |
