| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第6-11页 |
| 1.1.1 石墨烯概述pH | 第6-8页 |
| 1.1.2 pH传感器 | 第8-11页 |
| 1.1.2.1 平面（2D）石墨烯场效应型pH传感器 | 第9-10页 |
| 1.1.2.2 三维（3D）石墨烯传感器 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外 3D石墨烯传感器研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 本文的研究工作 | 第12-14页 |
| 1.4 选题意义和创新点 | 第14-15页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第15-16页 |
| 第二章 自组装石墨烯场效应管器件的设计 | 第16-23页 |
| 2.1 微管结构 | 第16-17页 |
| 2.2 应力层材料的选择 | 第17-18页 |
| 2.3 结构设计 | 第18-21页 |
| 2.4 石墨烯场效应管传感器 | 第21页 |
| 2.5 石墨烯场效应管对溶液pH值响应的原理分析 | 第21-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 石墨烯物理性质及其转移工艺 | 第23-31页 |
| 3.1 石墨烯的物理性质 | 第23-26页 |
| 3.1.1 石墨烯电导率与其表面电荷掺杂量之间的定量关系 | 第24-26页 |
| 3.2 石墨烯的制备及转移工艺 | 第26-29页 |
| 3.2.2 多层石墨烯的转移工艺 | 第26-28页 |
| 3.2.3 单层石墨烯的转移工艺 | 第28-29页 |
| 3.3 拉曼散射光谱分析 | 第29-30页 |
| 3.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 自组装石墨烯场效应管器件制作 | 第31-46页 |
| 4.1 自组装石墨烯场效应管版图设计 | 第31-35页 |
| 4.1.1 版图设计规则 | 第31页 |
| 4.1.2 自组装石墨烯场效应管版图介绍 | 第31-35页 |
| 4.2 自组装场效应管器件加工 | 第35-43页 |
| 4.2.1 牺牲层以及应力层的制作 | 第35-37页 |
| 4.2.2 平面(2D)石墨烯场效应管的制作 | 第37-39页 |
| 4.2.3 自组装工艺 | 第39-43页 |
| 4.3“微管”特征尺寸的控制 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 场效应管性能检测 | 第46-56页 |
| 5.1 石墨烯拉曼表征 | 第46-47页 |
| 5.2 石墨烯拉曼表征分析 | 第47-49页 |
| 5.3 自组装石墨烯场效应管电学性能分析 | 第49-53页 |
| 5.3.1 电路搭建 | 第49-50页 |
| 5.3.2 石墨烯电阻性能研究 | 第50-51页 |
| 5.3.3 双极型石墨烯电气学性能分析 | 第51-52页 |
| 5.3.4 单极型石墨烯电气学性能分析 | 第52-53页 |
| 5.4 自组装石墨烯场效应管电气学参数研究 | 第53-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 自组装石墨烯场效应管型pH传感器 | 第56-60页 |
| 6.1 测试内容 | 第56页 |
| 6.2 实验条件 | 第56-57页 |
| 6.3 实验结果 | 第57-60页 |
| 第七章 总结 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68-69页 |