划片机的高精度运动定位及误差补偿
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 划片机的关键技术 | 第11-12页 |
| 1.4 本文研究内容及章节安排 | 第12-14页 |
| 第2章 划片机控制系统的总体方案设计 | 第14-24页 |
| 2.1 系统机械结构及工作原理 | 第14页 |
| 2.2 控制系统组成结构 | 第14-16页 |
| 2.3 电机与运动控制器选型 | 第16-19页 |
| 2.3.1 电机的额定转速 | 第16页 |
| 2.3.2 电机的额定扭矩 | 第16-17页 |
| 2.3.3 电机的平均推力 | 第17-18页 |
| 2.3.4 运动控制器选型 | 第18-19页 |
| 2.4 光栅尺位移测量系统 | 第19-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 运动控制算法 | 第24-36页 |
| 3.1 PID 控制 | 第24-26页 |
| 3.1.1 模拟 PID 控制器原理 | 第24-25页 |
| 3.1.2 数字 PID 控制器原理 | 第25-26页 |
| 3.2 模糊 PID 控制 | 第26-28页 |
| 3.3 模糊 PID 控制器设计 | 第28-32页 |
| 3.3.1 语言变量的模糊化 | 第28-30页 |
| 3.3.2 模糊控制规则的建立 | 第30-32页 |
| 3.4 模糊 PID 控制器的仿真实验研究 | 第32-35页 |
| 3.4.1 PID 控制器参数整定 | 第32-33页 |
| 3.4.2 运动定位系统仿真结果分析 | 第33-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 运动定位系统的误差检测与补偿 | 第36-52页 |
| 4.1 误差检测 | 第36-38页 |
| 4.1.1 激光干涉仪的测量原理及调试 | 第36-37页 |
| 4.1.2 激光干涉仪调试 | 第37-38页 |
| 4.2 模版补偿 | 第38-41页 |
| 4.3 标定补偿 | 第41-48页 |
| 4.3.1 误差补偿模型 | 第41-43页 |
| 4.3.2 误差测量及补偿实验 | 第43-48页 |
| 4.4 应用程序设计 | 第48-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 总结 | 第52-54页 |
| 5.1 全文总结 | 第52页 |
| 5.2 未来展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 作者简介及科研成果 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
