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X射线直接成像的CMOS有源像素图像传感器研究1

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
1 绪论第8-14页
   ·引言第8-9页
   ·国内外研究现状第9-12页
   ·研究目的和内容第12页
     ·研究目的第12页
     ·研究内容第12页
   ·小结第12-14页
2 直接探测 X 射线的 CMOS APS第14-24页
   ·CMOS APS 的原理第14-15页
   ·直接探测 X 射线的 APS 结构第15-18页
     ·基于外延层硅衬底的 APS 结构第15-17页
     ·基于非外延层硅衬底的 APS 结构第17-18页
   ·X 射线探测元的建模与仿真第18-22页
     ·建模与仿真方法第18-19页
     ·仿真结果与分析第19-22页
   ·小结第22-24页
3 抗辐射加固设计第24-52页
   ·总电离剂量效应第24-27页
     ·辐射引入氧化层电荷第24-26页
     ·辐射引入界面态第26-27页
   ·单粒子效应第27-30页
     ·单粒子瞬态第27-28页
     ·单粒子闩锁第28-29页
     ·单粒子翻转第29-30页
   ·总电离剂量效应的加固设计第30-36页
     ·MOS 管的加固设计第30-34页
     ·电荷收集二极管的加固设计第34-36页
   ·抗 SEU 的加固设计第36-43页
     ·传统的加固方法第36-38页
     ·抗 SEU 的移位寄存器的加固设计第38-43页
   ·Dog Bone MOS FET 的等效宽长比的计算方法第43-50页
     ·器件建模与仿真第43-45页
     ·仿真结果与分析第45-49页
     ·实验测试第49-50页
   ·小结第50-52页
4 读出电路及片内集成时序控制电路设计第52-70页
   ·读出电路设计第52-64页
     ·像元电路及其噪声分析第52-57页
     ·相关双采样电路第57-60页
     ·采样保持电路第60-62页
     ·读出电路的仿真第62-64页
   ·片内集成时序控制电路的设计第64-68页
     ·总体要求第64-66页
     ·模块划分第66页
     ·电路实现方法第66-67页
     ·时序控制电路的整体仿真第67-68页
   ·小结第68-70页
5 版图设计第70-76页
   ·版图规划第70-71页
   ·模拟电路版图设计第71-73页
     ·NMOS 管版图第71-72页
     ·电荷收集二极管版图第72-73页
     ·像素单元电路版图第73页
   ·数字电路版图设计第73-74页
     ·时序控制电路版图第73-74页
     ·移位寄存器电路版图第74页
   ·芯片整体版图第74-75页
   ·小结第75-76页
6 总结与展望第76-78页
致谢第78-80页
参考文献第80-86页
附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录第86页

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