摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-13页 |
第一章 绪论 | 第13-18页 |
·半导体存储器产业简介 | 第13-15页 |
·课题背景 | 第15页 |
·其他Memory 产品的测试现况 | 第15-16页 |
·测试Pattern 的设计思路和验证结果 | 第16-17页 |
·论文章节组成 | 第17-18页 |
第二章 MLC NAND Flash 概述 | 第18-29页 |
·MLC NAND Flash 芯片架构 | 第18-19页 |
·MLC NAND Flash 存储阵列的组成结构 | 第19页 |
·灵敏放大器 | 第19-20页 |
·MLC NAND Flash 阈值电压控制 | 第20-22页 |
·MLC NAND Flash 的基本操作 | 第22-25页 |
·Program 操作 | 第22-24页 |
·Erase 操作 | 第24页 |
·Read 操作 | 第24-25页 |
·Sequence Read 机制 | 第25页 |
·存储区块的组织 | 第25-27页 |
·存储阵列的寻址方法 | 第27-29页 |
第三章 MLC NAND Flash 故障类型 | 第29-40页 |
·故障分类 | 第29页 |
·Stuck-at 故障 | 第29-30页 |
·由电荷泵(Charge Pump)引发 | 第30页 |
·由字线电压选择器引发 | 第30页 |
·连线短路引发 | 第30页 |
·桥接故障(Bridging Fault) | 第30-31页 |
·故障状况1:两个字线间短路 | 第31页 |
·故障状况2:两个位线间短路 | 第31页 |
·干扰故障(Disturb Fault) | 第31-33页 |
·栅电压引发编程干扰:Erase 效应(GSE,Gate Stress-Erase) | 第31-32页 |
·栅电压引发编程干扰:Program 效应(GSP,Gate Stress-Program) | 第32页 |
·漏电压引发编程干扰:Erase 效应(DSE,Drain Stress-Erase) | 第32-33页 |
·漏电压引发编程干扰:Program 效应(DSP,Drain Stress-Program) | 第33页 |
·断线故障(Broken Connection Fault) | 第33-34页 |
·字线相关断线,Gate 上无法加载电压 | 第33-34页 |
·位线相关断线,Drain 上无法加载电压 | 第34页 |
·串联电阻故障(Series Resistance Fault) | 第34-35页 |
·氧化层陷阱故障(Oxide Traps Fault) | 第35-36页 |
·污染故障(Contamination Fault) | 第36-37页 |
·由污染引起的电荷损失 | 第37页 |
·由污染引起的电荷增加 | 第37页 |
·漏电流故障(Charge Leakage Fault) | 第37-40页 |
·位线漏电流故障 | 第38页 |
·行向漏电流故障 | 第38页 |
·栅漏耦合故障 | 第38-39页 |
·应力导致漏电流(SILC, Stress Induced Leakage Current Faults) | 第39-40页 |
第四章 MLC NAND Flash 故障类型探测Pattern 的设计 | 第40-51页 |
·MLC NAND Flash 的检测用术语 | 第40页 |
·Stuck-at 类型的故障探测Pattern | 第40-42页 |
·桥接故障类型的探测Pattern | 第42-43页 |
·断线故障类型的探测Pattern | 第43页 |
·干扰故障类型的探测Pattern | 第43-46页 |
·编程效应的干扰故障的探测Pattern: | 第43-45页 |
·擦除效应的干扰故障的探测方法描述如下: | 第45-46页 |
·串联电阻故障类型的探测Pattern | 第46-47页 |
·氧化层陷阱故障类型的探测Pattern | 第47-49页 |
·受主型氧化层陷阱的故障的探测Pattern | 第47-48页 |
·施主型氧化层陷阱的故障的探测Pattern | 第48-49页 |
·污染故障类型的探测Pattern | 第49页 |
·漏电流(Leakage & SILC)故障类型的探测Pattern | 第49-50页 |
·故障类型的探测Pattern 汇总 | 第50-51页 |
第五章 MLC NAND Flash 故障检测Pattern 的设计 | 第51-58页 |
·可检测定值故障的Pattern | 第51-52页 |
·可检测桥接故障的Pattern | 第52页 |
·可检测断线故障的检测Pattern | 第52-53页 |
·可检测干扰故障的检测Pattern | 第53-54页 |
·可检测擦除效应的干扰故障的检测Pattern | 第53-54页 |
·可检测编程效应的干扰故障的检测Pattern | 第54页 |
·串联电阻故障检测Pattern | 第54-55页 |
·氧化层陷阱故障检测Pattern | 第55页 |
·污染故障检测Pattern | 第55页 |
·泄漏电流和SILC 故障检测Pattern | 第55-56页 |
·MLC NAND Flash 故障检测Pattern 汇总 | 第56页 |
·MLC NAND Flash 故障检测Pattern 合并与简化 | 第56-58页 |
第六章 MLC NAND Flash 故障检测Pattern 验证 | 第58-69页 |
·测试平台简介 | 第58-59页 |
·测试Pattern 的验证方案 | 第59-61页 |
·待测Flash 的选定 | 第59-60页 |
·测试步骤 | 第60-61页 |
·测试结果——坏块数量 | 第61页 |
·基于故障类型探测Pattern,研究故障发生几率 | 第61-63页 |
·验证故障检测Pattern 的实际检测效果 | 第63-65页 |
·方案1 的检测Pattern 的测试结果分析 | 第63-64页 |
·方案2 的检测Pattern 的测试结果分析 | 第64页 |
·方案3 的检测Pattern 的测试结果分析 | 第64-65页 |
·分析Program-Erase 循环次数对干扰故障的影响 | 第65-66页 |
·估算故障检测Pattern 检测成本 | 第66-68页 |
·故障检测Pattern 的检测效率评估 | 第68-69页 |
第七章 结论 | 第69-70页 |
·主要结论 | 第69页 |
·研究展望 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-73页 |
附录1:Stuck-at 故障类型探测流程图 | 第73-74页 |
附录2:桥接故障类型探测流程图 | 第74-75页 |
附录3:编程效应的干扰故障类型探测流程图 | 第75-76页 |
附录4:擦除效应的干扰故障类型探测流程图 | 第76-77页 |
附录5:串联电阻故障类型探测流程图 | 第77-78页 |
附录6:受主型氧化层陷阱故障类型探测流程图 | 第78-79页 |
附录7:施主型氧化层陷阱故障类型探测流程图 | 第79-80页 |
致谢 | 第80页 |
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第80页 |