CCD电荷测试及界面特性研究
摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-10页 |
第一章 引言 | 第10-14页 |
·引言 | 第10-11页 |
·CCD-MOS 电荷测试与界面研究现状 | 第11-13页 |
·本论文选题意义及研究工作 | 第13-14页 |
第二章 界面态及其测试原理 | 第14-26页 |
·界面态概述 | 第14-15页 |
·界面态测量方法 | 第15-23页 |
·准静态法 | 第16-19页 |
·电导法 | 第19-22页 |
·准静态和电导法比较 | 第22-23页 |
·测量仪器介绍 | 第23-26页 |
第三章 高精度界面态测试研究 | 第26-41页 |
·电导法测试精度研究 | 第26-28页 |
·寄生参数误差分析 | 第28-32页 |
·样品制备及参数测试分析 | 第32-41页 |
·样品的制备 | 第32-33页 |
·样品测试 | 第33-41页 |
·样品测试基本流程 | 第33-35页 |
·样品的基本测试 | 第35-36页 |
·样品的多电压测试 | 第36-41页 |
第四章 界面特性的椭偏测试研究 | 第41-67页 |
·椭偏基本理论 | 第41-46页 |
·椭偏测试原理 | 第41-43页 |
·椭偏模型 | 第43-46页 |
·椭偏测试仪器 | 第46-47页 |
·椭偏灵敏度因子及测试条件的优化研究 | 第47-49页 |
·折射率和组分关系研究 | 第49-52页 |
·界面层测试及特性分析 | 第52-58页 |
·界面层与界面态关系分析 | 第58-67页 |
第五章 结论和展望 | 第67-69页 |
致谢 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-73页 |
攻硕期间取得的研究成果 | 第73-74页 |