CCD电荷测试及界面特性研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 引言	第10-14页
·引言	第10-11页
·CCD-MOS 电荷测试与界面研究现状	第11-13页
·本论文选题意义及研究工作	第13-14页
第二章 界面态及其测试原理	第14-26页
·界面态概述	第14-15页
·界面态测量方法	第15-23页
·准静态法	第16-19页
·电导法	第19-22页
·准静态和电导法比较	第22-23页
·测量仪器介绍	第23-26页
第三章 高精度界面态测试研究	第26-41页
·电导法测试精度研究	第26-28页
·寄生参数误差分析	第28-32页
·样品制备及参数测试分析	第32-41页
·样品的制备	第32-33页
·样品测试	第33-41页
·样品测试基本流程	第33-35页
·样品的基本测试	第35-36页
·样品的多电压测试	第36-41页
第四章 界面特性的椭偏测试研究	第41-67页
·椭偏基本理论	第41-46页
·椭偏测试原理	第41-43页
·椭偏模型	第43-46页
·椭偏测试仪器	第46-47页
·椭偏灵敏度因子及测试条件的优化研究	第47-49页
·折射率和组分关系研究	第49-52页
·界面层测试及特性分析	第52-58页
·界面层与界面态关系分析	第58-67页
第五章 结论和展望	第67-69页
致谢	第69-70页
参考文献	第70-73页
攻硕期间取得的研究成果	第73-74页