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CCD电荷测试及界面特性研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 引言第10-14页
   ·引言第10-11页
   ·CCD-MOS 电荷测试与界面研究现状第11-13页
   ·本论文选题意义及研究工作第13-14页
第二章 界面态及其测试原理第14-26页
   ·界面态概述第14-15页
   ·界面态测量方法第15-23页
     ·准静态法第16-19页
     ·电导法第19-22页
     ·准静态和电导法比较第22-23页
   ·测量仪器介绍第23-26页
第三章 高精度界面态测试研究第26-41页
   ·电导法测试精度研究第26-28页
   ·寄生参数误差分析第28-32页
   ·样品制备及参数测试分析第32-41页
     ·样品的制备第32-33页
     ·样品测试第33-41页
       ·样品测试基本流程第33-35页
       ·样品的基本测试第35-36页
       ·样品的多电压测试第36-41页
第四章 界面特性的椭偏测试研究第41-67页
   ·椭偏基本理论第41-46页
     ·椭偏测试原理第41-43页
     ·椭偏模型第43-46页
   ·椭偏测试仪器第46-47页
   ·椭偏灵敏度因子及测试条件的优化研究第47-49页
   ·折射率和组分关系研究第49-52页
   ·界面层测试及特性分析第52-58页
   ·界面层与界面态关系分析第58-67页
第五章 结论和展望第67-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-73页
攻硕期间取得的研究成果第73-74页

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