激光植球系统设计及实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究发展现状 | 第9-13页 |
| ·微互连技术概述 | 第9-10页 |
| ·国内外凸点制作与键合系统发展现状 | 第10-11页 |
| ·视觉定位与检测现状 | 第11-13页 |
| ·课题来源 | 第13-14页 |
| ·课题主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 激光植球系统设计 | 第15-27页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·激光植球系统工作流程 | 第15-16页 |
| ·激光植球系统的建立 | 第16-26页 |
| ·机械系统 | 第16-18页 |
| ·显微视觉系统 | 第18-22页 |
| ·激光系统 | 第22-23页 |
| ·气动系统 | 第23-25页 |
| ·控制系统 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 焊盘视觉定位与植球 | 第27-58页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·自动调焦 | 第27-32页 |
| ·调焦评价函数的特征 | 第28-29页 |
| ·调焦评价函数的选择 | 第29-30页 |
| ·自动调焦实验 | 第30-32页 |
| ·焊盘中心检测 | 第32-55页 |
| ·阈值分割 | 第33-36页 |
| ·二值去噪 | 第36-41页 |
| ·边缘提取 | 第41-44页 |
| ·中心检测 | 第44-54页 |
| ·定位N 行N 列焊盘中心 | 第54-55页 |
| ·激光植球 | 第55-57页 |
| ·坐标转换 | 第55-56页 |
| ·焊盘植球 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 凸点外观质量检测 | 第58-68页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·常用图像配准算法 | 第58-61页 |
| ·基于灰度信息的方法 | 第58-60页 |
| ·基于特征的方法 | 第60-61页 |
| ·配准算法的选择 | 第61-64页 |
| ·归一化互相关匹配 | 第61-63页 |
| ·Harris 角点匹配 | 第63页 |
| ·两种匹配算法的比较及选择 | 第63-64页 |
| ·凸点外观质量检测 | 第64-66页 |
| ·质量检测算法 | 第64-65页 |
| ·质量检测实验 | 第65-66页 |
| ·不合格凸点返修 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 激光植球系统实验 | 第68-77页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·实验系统 | 第68页 |
| ·系统软件 | 第68-70页 |
| ·焊盘定位与植球实验 | 第70-74页 |
| ·中心检测算法实验 | 第70-72页 |
| ·激光参数测定实验 | 第72-74页 |
| ·焊盘植球实验 | 第74页 |
| ·凸点质量检测及返修实验 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
