应变硅细—微观实验测量表征

中文摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
字母注释表	第11-13页
第一章 绪论	第13-20页
1.1 研究背景及意义	第13-16页
1.2 国内外研究动态	第16-18页
1.3 本文的主要工作	第18-20页
第二章 应变硅材料及其横截面样品的制备	第20-37页
2.1 应变硅材料的制备	第20-22页
2.2 应变硅的清洗	第22-25页
2.3 应变硅横截面样品的制备	第25-36页
2.4 本章小结	第36-37页
第三章 应变硅结构物性的多尺度实验分析	第37-52页
3.1 应变硅横截面样品的表面粗糙度测量	第37-39页
3.2 应变硅多层结构的材料物质分布实验分析	第39-44页
3.3 应变硅横截面样品的弹性模量变化规律测量	第44-45页
3.4 应变硅材料纳观结构的TEM分析	第45-51页
3.5 本章小结	第51-52页
第四章 应变硅的微拉曼力学分析	第52-67页
4.1 微拉曼实验	第52-54页
4.2 应变硅表面样品的微拉曼实验	第54-60页
4.3 应变硅横截面样品的微拉曼实验	第60-66页
4.4 本章小结	第66-67页
第五章 总结与展望	第67-69页
5.1 工作总结	第67页
5.2 进一步展望	第67-69页
参考文献	第69-76页
发表论文和参加科研情况说明	第76-77页
致谢	第77-78页