| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| Contents | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第13-14页 |
| 1.2 精密运动平台概述 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外研究现状及分析 | 第15-22页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4 精密运动平台减振概述 | 第22-25页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第25-29页 |
| 第二章 高速精密宏微运动平台的搭建与设备测试 | 第29-53页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 宏微运动系统的组成与选型 | 第29-40页 |
| 2.2.1 宏动平台驱动选择 | 第31-33页 |
| 2.2.2 微动平台驱动选择 | 第33-36页 |
| 2.2.3 双光栅尺的特性概述与选型及定位方法研究 | 第36-40页 |
| 2.3 宏微运动平台总体结构设计与实物搭建 | 第40-43页 |
| 2.3.1 宏微运动平台结构设计 | 第40-42页 |
| 2.3.2 宏微运动平台的搭建 | 第42-43页 |
| 2.4 平台关键部件的性能测试 | 第43-52页 |
| 2.4.1 音圈电机的性能测试 | 第43-47页 |
| 2.4.2 压电陶瓷的性能测试 | 第47-50页 |
| 2.4.3 绝对式光栅尺的精度验证 | 第50-52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第三章 宏微运动平台的功能与系统集成 | 第53-69页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 宏微运动平台关键部件功能描述 | 第53-56页 |
| 3.3 宏微运动平台集成系统开发 | 第56-67页 |
| 3.3.1 集成系统组成 | 第56-58页 |
| 3.3.2 压电陶瓷控制模块的实现 | 第58-59页 |
| 3.3.3 音圈电机控制和反馈模块的实现 | 第59-60页 |
| 3.3.4 绝对式光栅尺信号反馈模块的实现 | 第60-63页 |
| 3.3.5 平台集成系统界面介绍 | 第63-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第四章 宏微运动平台动力学建模及减振分析 | 第69-79页 |
| 4.1 引言 | 第69页 |
| 4.2 宏微运动平台的动力学建模 | 第69-74页 |
| 4.2.1 宏动平台的动力学建模分析 | 第69-72页 |
| 4.2.2 微动平台的动力学建模分析 | 第72-74页 |
| 4.3 宏微运动平台减振分析 | 第74-78页 |
| 4.3.1 基于隔振设备的被动减振分析 | 第74-75页 |
| 4.3.2 基于压电陶瓷的主动减振分析 | 第75-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 宏微运动平台的性能测试与减振实验 | 第79-95页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 实验仪器介绍 | 第79-82页 |
| 5.3 宏微运动平台的性能测试 | 第82-88页 |
| 5.3.1 宏微运动平台固有频率测试 | 第82-84页 |
| 5.3.2 宏微运动平台重复定位精度测试 | 第84-88页 |
| 5.4 宏微运动平台振动研究实验分析 | 第88-93页 |
| 5.4.1 振动研究实验方案 | 第88-89页 |
| 5.4.2 振动研究实验结果及分析 | 第89-93页 |
| 5.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 结论与展望 | 第95-97页 |
| 结论 | 第95页 |
| 展望 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-103页 |
| 读硕士学位期间取得的研究成果 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105页 |