| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 主要符号表 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-26页 |
| ·反熔丝器件及芯片的研究与应用 | 第15-16页 |
| ·国外研究现状 | 第16-22页 |
| ·ONO 反熔丝 | 第16-17页 |
| ·非晶硅反熔丝 | 第17-18页 |
| ·栅氧化层反熔丝 | 第18-19页 |
| ·反熔丝芯片 | 第19-21页 |
| ·反熔丝 PROM | 第19-20页 |
| ·反熔丝 FPGA | 第20-21页 |
| ·反熔丝器件及芯片的发展趋势 | 第21-22页 |
| ·国内研究现状 | 第22页 |
| ·论文的主要工作及创新 | 第22-24页 |
| ·论文的内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 基于 BZN 高 K 材料的新型反熔丝器件的制备 | 第26-39页 |
| ·BZN 反熔丝的基本结构 | 第26-28页 |
| ·BZN 反熔丝介质层的微图形化 | 第28-35页 |
| ·工艺气体流量比 | 第30-32页 |
| ·工艺气体总流量 | 第32-33页 |
| ·工作压强 | 第33-34页 |
| ·ICP 功率 | 第34页 |
| ·微图形表面形貌 | 第34-35页 |
| ·BZN 反熔丝上电极的制备 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 基于 BZN 高 K 材料的新型反熔丝器件的性能研究 | 第39-61页 |
| ·BZN 反熔丝的关态特性 | 第39-45页 |
| ·结晶态 BZN 反熔丝的关态特性 | 第40-42页 |
| ·非结晶态 BZN 反熔丝的关态特性 | 第42-44页 |
| ·BZN 反熔丝关态特性对比分析 | 第44-45页 |
| ·BZN 反熔丝的编程特性 | 第45-49页 |
| ·结晶态 BZN 反熔丝的编程特性 | 第45-48页 |
| ·非结晶态 BZN 反熔丝的编程特性 | 第48页 |
| ·BZN 反熔丝编程特性对比分析 | 第48-49页 |
| ·BZN 反熔丝的开态特性 | 第49-53页 |
| ·结晶态 BZN 反熔丝的开态特性 | 第50-52页 |
| ·非结晶态 BZN 反熔丝的开态特性 | 第52页 |
| ·BZN 反熔丝开态特性对比分析 | 第52-53页 |
| ·BZN 反熔丝的可靠性 | 第53-59页 |
| ·反熔丝面积对击穿电压及击穿后电阻的影响 | 第54-55页 |
| ·经时击穿（TDDB）特性 | 第55-57页 |
| ·开态 BZN 反熔丝的可靠性 | 第57-59页 |
| ·电流应力测试 | 第57-58页 |
| ·温度特性测试 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 抗总剂量辐射双栅晶体管的结构设计与仿真 | 第61-77页 |
| ·NMOS 晶体管的总剂量效应及其改进措施 | 第61-66页 |
| ·总剂量效应 | 第61-65页 |
| ·改进措施 | 第65-66页 |
| ·抗总剂量辐射双栅晶体管的结构设计 | 第66-69页 |
| ·反熔丝 PROM 存储单元的基本结构 | 第66-68页 |
| ·双栅晶体管结构及其优化 | 第68-69页 |
| ·抗总剂量辐射双栅晶体管的性能仿真 | 第69-76页 |
| ·NMOS 高压晶体管的基本性能及抗总剂量性能仿真研究 | 第70-72页 |
| ·双栅晶体管的 MEDICI 软件仿真研究 | 第72-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 抗总剂量辐射双栅反熔丝 PROM 的电路设计与仿真 | 第77-92页 |
| ·改进型双栅晶体管 | 第77-83页 |
| ·双栅反熔丝 PROM 的电路设计 | 第83-88页 |
| ·存储单元 | 第84-85页 |
| ·译码器 | 第85页 |
| ·编程通路 | 第85-86页 |
| ·读出通路 | 第86-88页 |
| ·双栅反熔丝 PROM 的电路仿真 | 第88-89页 |
| ·对照组反熔丝 PROM 的电路设计与仿真 | 第89-90页 |
| ·本章小结 | 第90-92页 |
| 第六章 抗总剂量辐射双栅反熔丝 PROM 的版图设计、流片及测试 | 第92-101页 |
| ·版图设计与流片 | 第92-94页 |
| ·双栅反熔丝 PROM 的版图设计与流片 | 第92-93页 |
| ·对照组反熔丝 PROM 的版图设计与流片 | 第93-94页 |
| ·基本功能测试 | 第94-96页 |
| ·封装与测试板 | 第94-95页 |
| ·编程功能测试 | 第95-96页 |
| ·读取功能测试 | 第96页 |
| ·抗总剂量辐射性能测试 | 第96-100页 |
| ·测试环境与测试方法 | 第96-97页 |
| ·测试结果与分析 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第七章 结论 | 第101-104页 |
| 致谢 | 第104-105页 |
| 参考文献 | 第105-115页 |
| 博士在学期间的研究成果 | 第115-117页 |
