| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·透明导电膜的研究与发展 | 第13-15页 |
| ·透明导电膜的种类 | 第15-18页 |
| ·氧化物透明导电膜 | 第15-16页 |
| ·金属透明导电膜 | 第16-17页 |
| ·其它透明导电膜 | 第17-18页 |
| ·透明导电膜的应用 | 第18-19页 |
| ·透明导电膜的制备方法 | 第19-23页 |
| 第二章 课题选取及实验介绍 | 第23-27页 |
| ·研究课题的选取 | 第23-24页 |
| ·实验设备介绍 | 第24页 |
| ·薄膜样品的测试 | 第24-27页 |
| ·结构分析 | 第24页 |
| ·表面形貌分析 | 第24-26页 |
| ·电学性质测量 | 第26页 |
| ·光学性质测量 | 第26-27页 |
| 第三章 MgZnO:Al透明导电膜的制备及性质研究 | 第27-47页 |
| ·MgZnO简介及样品制备 | 第27-29页 |
| ·MgZnO薄膜简介 | 第27-28页 |
| ·MgZnO:Al陶瓷靶的制备 | 第28-29页 |
| ·MgZnO:Al薄膜样品的制备 | 第29页 |
| ·工作气压对MgZnO:Al薄膜特性的影响 | 第29-33页 |
| ·薄膜的结构特性 | 第30-31页 |
| ·薄膜的电学特性 | 第31页 |
| ·薄膜的光学特性 | 第31-33页 |
| ·溅射功率对MgZnO:Al薄膜特性的影响 | 第33-36页 |
| ·薄膜的结构特性 | 第33-34页 |
| ·薄膜的电学特性 | 第34-35页 |
| ·薄膜的光学特性 | 第35-36页 |
| ·衬底温度对MgZnO:Al薄膜特性的影响 | 第36-42页 |
| ·薄膜的结构特性 | 第36-39页 |
| ·薄膜的电学特性 | 第39-40页 |
| ·薄膜的光学特性 | 第40-42页 |
| ·退火处理对MgZnO:Al薄膜特性的影响 | 第42-47页 |
| ·薄膜的结构特性 | 第42-44页 |
| ·薄膜的电学特性 | 第44-45页 |
| ·薄膜的光学特性 | 第45-47页 |
| 第四章 结论 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 硕士期间已发表和待发表的论文 | 第54-55页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第55页 |