金属互连电迁移噪声分形表征参量研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-9页 |
| ·研究背景 | 第7-8页 |
| ·论文内容 | 第8-9页 |
| 第二章 基础知识 | 第9-21页 |
| ·金属互连电迁移理论 | 第9-13页 |
| ·金属互连电迁移现象及失效机理 | 第9-11页 |
| ·金属互连电迁移传统表征参量 | 第11-13页 |
| ·分形理论 | 第13-17页 |
| ·分形简介 | 第13-14页 |
| ·单分形定义 | 第14-15页 |
| ·多分形定义 | 第15-17页 |
| ·金属互连电迁移噪声及其应用 | 第17-21页 |
| ·金属互连电迁移噪声 | 第17-19页 |
| ·金属互连电迁移噪声应用 | 第19-21页 |
| 第三章 金属互连电迁移噪声分形表征理论 | 第21-29页 |
| ·噪声分维与电子扩散轨迹分维的关系 | 第21-25页 |
| ·渗流理论 | 第21-22页 |
| ·渗流上的反常扩散理论 | 第22-23页 |
| ·电迁移噪声分维与电子扩散轨迹分维的关系 | 第23-25页 |
| ·噪声分维与晶粒间界分维的关系 | 第25-29页 |
| ·自回避无规行走理论 | 第25页 |
| ·电迁移噪声分维与晶粒间界分维关系 | 第25-29页 |
| 第四章 表征理论的实验验证 | 第29-35页 |
| ·实验方案 | 第29-30页 |
| ·实验结果 | 第30-31页 |
| ·结果讨论 | 第31-35页 |
| 第五章 金属互连电迁移噪声多分形表征参量探索 | 第35-43页 |
| ·空间奇异性表征参量探究 | 第35-36页 |
| ·噪声奇异性多分形表征参量探究 | 第36-38页 |
| ·实验结果验证 | 第38-43页 |
| 第六章 结论与展望 | 第43-45页 |
| ·论文成果 | 第43页 |
| ·展望 | 第43-45页 |
| 致谢 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 作者在读期间的研究成果 | 第51页 |
| 参 加 的 项 目 | 第51页 |
| 发 表 论 文 | 第51页 |
