基于误差分离技术的精密回转及直线运动部件精度测量
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·精密轴系回转精度测试概况 | 第9-11页 |
| ·主轴回转误差运动的定义 | 第9-10页 |
| ·主轴回转误差测量中的误差分离技术 | 第10页 |
| ·主轴回转误差测量技术的国内外发展现状 | 第10-11页 |
| ·精密机床导轨直线度概况 | 第11-12页 |
| ·本文研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 主轴回转误差及导轨直线度测量方法研究 | 第13-26页 |
| ·回转误差测量的直接测量法 | 第13-15页 |
| ·打表测量法 | 第13页 |
| ·单向测量法 | 第13-14页 |
| ·双向测量法 | 第14-15页 |
| ·光电检测回转误差直接测量法 | 第15页 |
| ·基于误差分离技术的回转误差测量方法 | 第15-19页 |
| ·反向法 | 第15-16页 |
| ·多步法 | 第16-18页 |
| ·多点法 | 第18-19页 |
| ·直线度误差的直接测量法 | 第19-21页 |
| ·三坐标测量法 | 第19-20页 |
| ·自准直仪测量法 | 第20-21页 |
| ·激光干涉仪测量法 | 第21页 |
| ·基于误差分离技术的直线度测量方法 | 第21-25页 |
| ·单点法 | 第21-22页 |
| ·两点法 | 第22-24页 |
| ·三点法 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 主轴回转误差算法仿真与实验测量 | 第26-39页 |
| ·测量系统设计 | 第26-28页 |
| ·传感器的选择 | 第26-27页 |
| ·数据采集卡 | 第27-28页 |
| ·多步法及其仿真 | 第28-34页 |
| ·不对称三步法测量原理及其数据处理 | 第28-30页 |
| ·不对称三步法仿真 | 第30-34页 |
| ·实验测量 | 第34页 |
| ·数据采集及处理 | 第34-37页 |
| ·测量系统误差分析 | 第37-38页 |
| ·系统装置及安装误差 | 第37-38页 |
| ·传感器误差分析 | 第38页 |
| ·测量环境的误差 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 导轨直线度误差测量与仿真 | 第39-52页 |
| ·测量系统总体设计 | 第39页 |
| ·测量中的关键问题 | 第39-41页 |
| ·周期轮廓的测量 | 第39-40页 |
| ·非周期轮廓的测量 | 第40页 |
| ·周期延拓 | 第40-41页 |
| ·测量原理及其仿真 | 第41-46页 |
| ·测量原理 | 第41-43页 |
| ·平移法仿真 | 第43-46页 |
| ·参数选择原则 | 第46-47页 |
| ·误差分析 | 第47-49页 |
| ·调零误差 | 第47页 |
| ·偏移法中的偏角误差影响 | 第47-49页 |
| ·传感器漂移特性造成的误差 | 第49页 |
| ·频域法中的权函数的误差放大作用 | 第49页 |
| ·实验数据测量与处理 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
