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极性宽禁带半导体微结构与新效应研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-24页
   ·极性宽禁带半导体第12-18页
     ·宽禁带半导体GaN 与ZnO第12-14页
     ·GaN:与“极性”密不可分的历史第14-16页
     ·ZnO 纳米结构中的“极性”第16-18页
   ·微结构的研究与新效应的发现第18-20页
     ·材料微结构的研究意义第18页
     ·异质外延GaN:微结构决定其光、电特性第18-20页
     ·ZnO 纳米线:近乎理想的晶体第20页
   ·本论文的研究内容与安排第20-24页
第二章 材料微结构研究基础第24-31页
   ·电子与晶格作用第24-27页
     ·扫描电子显微镜第25页
     ·透射电子显微镜第25-27页
   ·X 射线与晶格作用第27-28页
   ·原子间作用力第28-29页
   ·光子的吸收第29-30页
   ·本章小结第30-31页
第三章 MOCVD 异质外延 GaN 的微结构及其电学性质第31-49页
   ·MOCVD 异质外延生长GaN 工艺第31-32页
   ·GaN 外延薄膜的微结构特性第32-40页
     ·衬底与缓冲层界面的微结构第33页
     ·产生于缓冲层内部的微结构第33-36页
     ·高温GaN 层的微结构第36-38页
     ·裂纹形成机制的进一步研究第38-40页
   ·GaN 层位错对AlGaN/GaN 异质结构电学特性的影响第40-48页
     ·位错的电学性质第40-42页
     ·极化限制的2DEG第42页
     ·微结构与电学性质对应关系研究的实验方法第42-44页
     ·GaN 内刃位错引起的局部压电极化增强效应第44-48页
   ·本章小结第48-49页
第四章 横向生长效应决定的 GaN 微结构及光学性质第49-65页
   ·由GaN 和 ZnO 对比看横向生长效应第49页
   ·横向生长效应决定的高温层 GaN 微结构第49-54页
     ·GaN 高温层横向生长的决定因素第49-50页
     ·不同横向生长速度下位错形貌第50-52页
     ·横向生长效应对微结构影响的作用机制第52-54页
   ·横向生长对外延 GaN 发光效率的影响第54-58页
     ·有关GaN 发光效率的争论第54-55页
     ·位错的非辐射复合第55-56页
     ·位错形貌和晶粒间距对发光效率的影响第56-58页
   ·横向生长对表面形貌及光学性质的影响第58-64页
     ·GaN 的表面形貌第58-61页
     ·横向生长对表面形貌的影响第61-62页
     ·位错与深能级发光第62-64页
   ·本章小结第64-65页
第五章 极性在 GaN 腐蚀过程中产生的效应与应用第65-86页
   ·极性面的湿法选择性腐蚀第65-67页
     ·湿法选择性腐蚀第65页
     ·Ga 极性面的化学稳定性第65-66页
     ·有关GaN 湿法腐蚀的争议第66-67页
   ·极性在腐蚀坑形成过程中的关键作用第67-74页
     ·腐蚀表面形貌演化第67-69页
     ·三种腐蚀坑形状第69-72页
     ·极性的关键作用第72-73页
     ·进一步验证第73-74页
   ·GaN 单晶缺陷种类和密度的检测第74-79页
     ·湿法腐蚀准确估计不同类型位错密度第74-77页
     ·湿法腐蚀显示的反向边界第77页
     ·湿法腐蚀显示的小角晶界第77-79页
   ·AlGaN/GaN 异质结构的生长机理研究方面的应用第79-82页
   ·GaN 基发光二极管(LED)表面粗化第82-83页
   ·GaN 多层量子点光电材料的制作第83-85页
   ·本章小结第85-86页
第六章 压电势对 ZnO 纳米线器件电学输运的开关效应第86-104页
   ·金属和半导体接触的基本理论第86-89页
   ·自发形成的整流特性第89-92页
     ·ZnO 纳米电子器件的金半接触问题第89-90页
     ·稳定的自发形成的整流特性第90-91页
     ·成因分析第91-92页
   ·不同应力状态下的ZnO 纳米线压电势分布第92-99页
     ·ZnO 纳米线基器件制作过程中的内建应力第92页
     ·压电势分布的计算理论模型第92-95页
     ·不同应力状态下的压电势分布第95-97页
     ·其它影响因素的讨论第97页
     ·压电势控制的肖特基势垒第97-99页
   ·不同应力状态下ZnO 纳米线输运特性第99-102页
     ·ZnO 纳米线应力探测器件的制作第99-100页
     ·金属-纳米线-金属接触类型的判据第100页
     ·由对称I-V 曲线到整流特性第100-101页
     ·由整流到对称I-V 曲线特性第101-102页
     ·由欧姆特性到整流输运第102页
   ·本章小结第102-104页
第七章 ZnO 纳米线的无疲劳效应第104-112页
   ·纳米电子器件的机械可靠性问题第104-105页
   ·ZnO 纳米线的疲劳测试第105-111页
     ·传统疲劳测试方法第105-106页
     ·原位TEM 技术测试纳米线的疲劳寿命第106-109页
     ·纳米线微结构在疲劳测试前后的对比第109-111页
   ·ZnO 纳米线无疲劳效应的物理机制第111页
   ·本章小结第111-112页
第八章 结束语第112-115页
致谢第115-116页
参考文献第116-126页
作者攻读博士期间的研究成果和参加的科研项目第126-129页

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