| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 1 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 TiAlCN薄膜的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2 TiAlCN薄膜的应用 | 第12-13页 |
| 1.3 TiAlCN薄膜的制备技术 | 第13-16页 |
| 1.3.1 磁控溅射技术 | 第14-15页 |
| 1.3.2 离子镀技术 | 第15-16页 |
| 1.4 本论文研究目的与内容 | 第16-18页 |
| 2 实验材料、设备及方法 | 第18-24页 |
| 2.1 TiAlCN薄膜的设计 | 第18页 |
| 2.2 薄膜制备方法 | 第18-21页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第18-19页 |
| 2.2.2 镀膜设备 | 第19-20页 |
| 2.2.3 工艺参数 | 第20-21页 |
| 2.3 薄膜表征 | 第21-24页 |
| 2.3.1 组织结构分析测试 | 第21-22页 |
| 2.3.2 性能研究 | 第22-24页 |
| 3 不同Al靶电流下TiAlCN薄膜的组织结构与性能 | 第24-38页 |
| 3.1 组织结构分析 | 第24-30页 |
| 3.1.1 成分分析 | 第24-26页 |
| 3.1.2 形貌特征与粗糙度分析 | 第26-29页 |
| 3.1.3 物相结构表征 | 第29-30页 |
| 3.2 显微硬度与弹性模量测试 | 第30-32页 |
| 3.3 耐蚀性研究 | 第32-36页 |
| 3.3.1 极化曲线测试分析 | 第32-34页 |
| 3.3.2 电化学阻抗谱分析 | 第34-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 不同脉冲负偏压下TiAlCN薄膜的组织结构与性能 | 第38-51页 |
| 4.1 组织结构分析 | 第38-44页 |
| 4.1.1 成分分析 | 第38-40页 |
| 4.1.2 形貌特征与粗糙度分析 | 第40-43页 |
| 4.1.3 物相结构表征 | 第43-44页 |
| 4.2 显微硬度与弹性模量测量 | 第44-45页 |
| 4.3 耐蚀性研究 | 第45-50页 |
| 4.3.1 极化曲线测试分析 | 第45-47页 |
| 4.3.2 电化学阻抗谱分析 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 TiAlN、TiCN与TiAlCN薄膜的组织结构与性能对比研究 | 第51-69页 |
| 5.1 组织结构分析 | 第51-58页 |
| 5.1.1 形貌特征分析 | 第51-53页 |
| 5.1.2 物相结构表征 | 第53-54页 |
| 5.1.3 成分与元素化合态分析 | 第54-58页 |
| 5.2 显微硬度与弹性模量测试 | 第58-60页 |
| 5.3 耐蚀性研究 | 第60-67页 |
| 5.3.1 极化曲线测试分析 | 第60-62页 |
| 5.3.2 电化学阻抗谱分析 | 第62-66页 |
| 5.3.3 腐蚀形貌分析 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简历 | 第76-78页 |
| 学位论文数据集 | 第78页 |
