| 摘要 | 第4-5页 | 
| Abstract | 第5-6页 | 
| 1 绪论 | 第9-17页 | 
| 1.1 课题来源 | 第9页 | 
| 1.2 课题背景及意义 | 第9-10页 | 
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-15页 | 
| 1.4 目的及研究内容 | 第15-17页 | 
| 2 软件系统总体设计 | 第17-27页 | 
| 2.1 同步相移显微干涉表面形貌动态测量原理 | 第17-19页 | 
| 2.2 同步相移干涉表面重建原理 | 第19-21页 | 
| 2.3 软件系统框架设计 | 第21-26页 | 
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 | 
| 3 基于SURF特征算子的干涉图位置配准算法 | 第27-45页 | 
| 3.1 现有位置配准算法 | 第27-30页 | 
| 3.2 基于SURF算子的位置配准算法原理 | 第30-39页 | 
| 3.3 仿真测试及分析 | 第39-43页 | 
| 3.4 实验测试 | 第43-44页 | 
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 | 
| 4 相移干涉的光强校正算法 | 第45-53页 | 
| 4.1 干涉信号的光强特征分析及提取 | 第45-47页 | 
| 4.2 相移干涉信号的光强校正 | 第47-49页 | 
| 4.3 仿真测试与分析 | 第49-51页 | 
| 4.4 实验测试 | 第51-52页 | 
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 | 
| 5 基于CUDA的同步相移干涉表面形貌测量加速实现 | 第53-67页 | 
| 5.1 前言 | 第53-59页 | 
| 5.2 重构算法并行计算总体方案 | 第59-62页 | 
| 5.3 并行算法测试验证 | 第62-66页 | 
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 | 
| 6 系统测试与应用实验 | 第67-76页 | 
| 6.1 系统静态精度测试实验 | 第68-70页 | 
| 6.2 系统动态测试 | 第70-72页 | 
| 6.3 系统误差因素分析 | 第72-75页 | 
| 6.4 本章小结 | 第75-76页 | 
| 7 总结与展望 | 第76-78页 | 
| 7.1 全文总结 | 第76-77页 | 
| 7.2 研究展望 | 第77-78页 | 
| 致谢 | 第78-79页 | 
| 参考文献 | 第79-83页 | 
| 附录1 攻读学位期间发表科研成果目录 | 第83页 |