| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第12-18页 |
| 1.2.1 扫描参数对成像精度与针尖磨损的影响研究 | 第12-13页 |
| 1.2.2 探针针尖尺寸的评估方法 | 第13-16页 |
| 1.2.3 采样参数对测量精度的影响研究 | 第16-17页 |
| 1.2.4 文献综述分析 | 第17-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 AFM探针尖端的尺寸评估 | 第19-31页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 扫描探针显微镜的成像模型 | 第19-21页 |
| 2.3 针尖半径评估模型 | 第21-25页 |
| 2.4 实验验证 | 第25-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 扫描参数对测量结果影响研究 | 第31-49页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 扫描参数对成像质量影响 | 第31-39页 |
| 3.2.1 理论介绍 | 第31-32页 |
| 3.2.2 标准台阶表面成像质量分析 | 第32-36页 |
| 3.2.3 随机表面的成像质量分析 | 第36-39页 |
| 3.3 扫描参数对针尖磨损影响 | 第39-47页 |
| 3.3.1 一般情况下针尖磨损分析 | 第39-41页 |
| 3.3.2 扫描参数对零幅值振动影响 | 第41-47页 |
| 3.4 考虑针尖磨损的扫描参数优化策略分析 | 第47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 最佳采样条件确定 | 第49-63页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 表面评价方法 | 第49-51页 |
| 4.3 采样间隔对测量结果影响 | 第51-55页 |
| 4.4 针尖磨损对测量结果影响 | 第55-60页 |
| 4.5 最小采样间隔的确定 | 第60-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |