| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| ·研究背景 | 第14页 |
| ·薄膜制备技术、物理气相沉积技术（PVD）及应用 | 第14-15页 |
| ·物理气相沉积（PVD） | 第14-15页 |
| ·PVD 碳氮化物薄膜的研究现状及基本应用 | 第15页 |
| ·常用PVD 碳氮化物薄膜的制备及特点 | 第15-18页 |
| ·非晶氮化碳薄膜的特点 | 第15-16页 |
| ·氮化铬薄膜的制备及特点 | 第16-17页 |
| ·氮铝化钛薄膜的制备及特点 | 第17页 |
| ·碳氮化钛薄膜的制备及特点 | 第17-18页 |
| ·常用PVD 碳氮化物薄膜摩擦学研究现状 | 第18-22页 |
| ·非晶氮化碳薄膜摩擦学研究现状 | 第18-19页 |
| ·氮化铬薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第19-20页 |
| ·氮铝化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第20-21页 |
| ·碳氮化钛薄膜的制备及摩擦学研究现状 | 第21-22页 |
| ·本文的研究意义及主要内容 | 第22-24页 |
| ·本文的研究意义 | 第22-23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 试验方法 | 第24-32页 |
| ·薄膜的制备方法及对磨球的准备 | 第24-26页 |
| ·式样及靶材的材料 | 第24页 |
| ·a-CN_x 薄膜制备 | 第24-25页 |
| ·CrN、TiAlN、TiCN 薄膜制备 | 第25-26页 |
| ·SiC、SUJ2、SUS440C 球及CrN、TiAlN、TiCN 薄膜参数 | 第26页 |
| ·碳氮化物薄膜的表征 | 第26-28页 |
| ·X-射线衍射仪器（X-ray diffraction,XRD） | 第27页 |
| ·电子扫描显微镜（scanning electronic microscope) | 第27-28页 |
| ·表面粗糙度、硬度及弹性模量的表征 | 第28页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第28-31页 |
| ·摩擦磨损试验的环境条件及试验参数 | 第28-29页 |
| ·对磨球磨痕的形貌表征及磨损体积的测量 | 第29-30页 |
| ·碳氮化物薄膜磨痕的形貌表征及磨损体积的测量 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 a-CN_x薄膜在冷却液中摩擦学特性的研究 | 第32-47页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·a-CN_x 薄膜的表面形貌、粗糙度及力学性能 | 第32-33页 |
| ·加载载荷对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响 | 第33-39页 |
| ·不同载荷下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为 | 第33-34页 |
| ·不同载荷下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第34页 |
| ·不同载荷下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率 | 第34-35页 |
| ·不同载荷下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球磨痕 | 第35-39页 |
| ·对磨速度对a-CN_x 薄膜摩擦磨损特性的影响 | 第39-44页 |
| ·不同速度下a-CN_x 薄膜的醇类水润滑摩擦行为 | 第39页 |
| ·不同速度下a-CN_x 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第39-40页 |
| ·不同速度下a-CN_x 薄膜和对磨SiC 球的磨损率 | 第40-41页 |
| ·不同速度下a-CN_x 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及对磨球的磨痕 | 第41-44页 |
| ·a-CN_x 薄膜在乙醇和乙二醇水溶液中的Stribeck 曲线 | 第44页 |
| ·分析及讨论 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 润滑环境对TiCN 薄膜摩擦学性能的影响以及 TiCN 薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第47-60页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·TiCN 薄膜结构表征 | 第47-48页 |
| ·TiCN 薄膜的X-射线衍射(XRD)及粗糙度 | 第47页 |
| ·TiCN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第47-48页 |
| ·大气以及水环境下TiCN 薄膜摩擦学性能研究 | 第48-51页 |
| ·大气及水润滑下TiCN 薄膜的摩擦行为 | 第48-49页 |
| ·大气及水润滑下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第49-50页 |
| ·大气及水润滑下对磨SiC 球的磨损率 | 第50页 |
| ·大气环境下SiC 球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片 | 第50-51页 |
| ·摩擦参数对TiCN 薄膜水润滑摩擦学性能研究 | 第51-53页 |
| ·不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的水润滑摩擦行为 | 第51-52页 |
| ·不同载荷不同速度下TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第52页 |
| ·不同载荷不同速度下TiCN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第52-53页 |
| ·TiCN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第53-56页 |
| ·不同载荷下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌 | 第53-54页 |
| ·不同载荷下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化 | 第54-55页 |
| ·不同速度下SiC 球和TiCN 薄膜磨痕的形貌 | 第55-56页 |
| ·不同速度下SiC 球磨损直径及TiCN 薄膜磨痕深度的变化 | 第56页 |
| ·分析及讨论 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 氮化铬薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第60-69页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·CrN 薄膜结构表征 | 第60-61页 |
| ·CrN 薄膜的X-射线衍射(XRD) 分析及粗糙度 | 第60页 |
| ·CrN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第60-61页 |
| ·摩擦参数对CrN 薄膜水润滑性能的影响 | 第61-63页 |
| ·不同载荷不同速度下CrN 薄膜水润滑摩擦行为 | 第61-62页 |
| ·不同载荷不同速度下CrN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第62页 |
| ·不同载荷不同速度下CrN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第62-63页 |
| ·CrN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第63-66页 |
| ·不同载荷下SiC 球和CrN 薄膜磨痕的形貌 | 第63-64页 |
| ·不同载荷下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化 | 第64页 |
| ·不同速度下CrN 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第64-65页 |
| ·不同速度下SiC 球磨损直径及CrN 薄膜磨痕深度的变化 | 第65-66页 |
| ·分析及讨论 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 氮铝化钛薄膜在水润滑中的摩擦学特性研究 | 第69-78页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·TiAlN 薄膜结构表征 | 第69-70页 |
| ·TiAlN 薄膜的X-射线衍射(XRD)分析及粗糙度 | 第69页 |
| ·TiAlN 薄膜的电子扫描显微镜及X-射线能谱分析 | 第69-70页 |
| ·摩擦参数对TiAlN 薄膜水润滑性能的影响 | 第70-72页 |
| ·不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜水润滑摩擦行为 | 第70-71页 |
| ·不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第71页 |
| ·不同载荷不同速度下TiAlN 薄膜及SiC 球的磨损率 | 第71-72页 |
| ·TiAlN 薄膜磨痕的三维形貌、截面形貌及球磨痕 | 第72-74页 |
| ·不同载荷下SiC 球和TiAlN 薄膜磨痕的形貌 | 第72-73页 |
| ·不同载荷下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化 | 第73页 |
| ·不同速度下TiAlN 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第73-74页 |
| ·不同速度下SiC 球磨损直径及TiAlN 薄膜磨痕深度的变化 | 第74页 |
| ·分析及讨论 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第七章 不同对磨球对 CrN、TiAlN、TiCN 薄膜摩擦学性能的影响 | 第78-87页 |
| ·不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦学特性 | 第78-80页 |
| ·不同对磨球下CrN 薄膜的摩擦行为 | 第78页 |
| ·不同对磨球下CrN 薄膜磨痕的电子扫描照片及EDS 分析 | 第78-79页 |
| ·不同对磨球及CrN 薄膜磨痕的光学照片 | 第79-80页 |
| ·不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦学特性 | 第80-82页 |
| ·不同对磨球下TiAlN 薄膜的摩擦行为 | 第80页 |
| ·不同对磨球下TiAlN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析 | 第80-81页 |
| ·不同对磨球及TiAlN 薄膜磨痕的光学照片 | 第81-82页 |
| ·不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦学特性 | 第82-84页 |
| ·不同对磨球下TiCN 薄膜的摩擦行为 | 第82页 |
| ·不同对磨球下TiCN 薄膜的电子扫描照片及EDS 分析 | 第82-83页 |
| ·不同对磨球及TiCN 薄膜磨痕的光学照片 | 第83-84页 |
| ·不同对磨球下CrN、TiAlN、TiCN 薄膜的平均稳态摩擦系数 | 第84-85页 |
| ·不同对磨球的磨损率 | 第85页 |
| ·分析及讨论 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第八章 总结与展望 | 第87-89页 |
| ·本文的主要工作及结果 | 第87-88页 |
| ·展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第93页 |
