| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第12页 |
| 1.2 动态干涉仪的发展及研究现状 | 第12-22页 |
| 1.2.1 泰曼型同步移相干涉测量方案 | 第13-15页 |
| 1.2.2 斐索型同步移相干涉测量方案 | 第15-22页 |
| 1.2.3 动态干涉仪研究现状小结 | 第22页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第22-24页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第22-24页 |
| 2 基于短相干光源的动态斐索干涉测量原理 | 第24-31页 |
| 2.1 基于短相干光源的动态斐索干涉原理 | 第24-26页 |
| 2.2 偏振干涉原理 | 第26-29页 |
| 2.2.1 偏振的琼斯矩阵表示 | 第26-28页 |
| 2.2.2 偏振移相干涉 | 第28-29页 |
| 2.3 系统同步移相干涉测量原理分析 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 用于动态斐索干涉仪的二极管泵浦固体激光器相干性研究 | 第31-46页 |
| 3.1 部分相干理论 | 第31-34页 |
| 3.1.1 光源的时间相干性 | 第31-32页 |
| 3.1.2 光源的空间相干性 | 第32-33页 |
| 3.1.3 互相干函数和复相干度 | 第33-34页 |
| 3.2 二极管泵浦固体激光器相干性测量 | 第34-45页 |
| 3.2.1 二极管泵浦固体激光器光谱测量 | 第35-39页 |
| 3.2.2 二极管泵浦固体激光器注入电流变化引起的输出中心波长漂移 | 第39-41页 |
| 3.2.3 二极管泵浦固体激光器电流调制实验 | 第41-44页 |
| 3.2.4 二极管泵浦固体激光器的温度变化对其相干性的影响 | 第44-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 动态斐索干涉仪实验系统及关键器件研究 | 第46-54页 |
| 4.1 动态斐索干涉仪实验装置 | 第46-48页 |
| 4.2 短相干偏振光源模块 | 第48页 |
| 4.3 偏振移相模块 | 第48-49页 |
| 4.4 干涉仪成像系统 | 第49-50页 |
| 4.5 动态斐索干涉仪平面面形检测对比实验 | 第50-51页 |
| 4.6 动态斐索干涉仪测量球面面形实验 | 第51-52页 |
| 4.7 动态斐索干涉仪重复性实验 | 第52-53页 |
| 4.8 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 基于短相干光源的动态斐索干涉仪误差分析 | 第54-67页 |
| 5.1 干涉图的对比度 | 第54-56页 |
| 5.2 微偏振阵列透振方向的方位角误差 | 第56-58页 |
| 5.3 四分之一波片的位相延迟量误差 | 第58-61页 |
| 5.4 四分之一波片的快轴方位角误差 | 第61-63页 |
| 5.5 光强归一化算法抑制四分之一波片的快轴方位角误差 | 第63-66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 本文的主要工作 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |
