| 提要 | 第1-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-10页 |
| ·声表面波传感器的研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外对 SAW 传感器技术的研究历史与现状 | 第8-9页 |
| ·研究意义及内容 | 第9-10页 |
| 第2章 声表面波基本理论 | 第10-16页 |
| ·声表面波 | 第11-13页 |
| ·声表面传感器材料 | 第13-16页 |
| ·石英晶体 | 第13-15页 |
| ·压电衬底的选择 | 第15-16页 |
| 第3章 声表面波器件的特性与制作工艺 | 第16-23页 |
| ·声表面波传感器的工作模式 | 第16-17页 |
| ·布拉格反射（Bragg Rreflection） | 第17-18页 |
| ·叉指换能器 | 第18-20页 |
| ·叉指换能器的制造工艺 | 第20-23页 |
| ·光刻 | 第20-21页 |
| ·刻蚀与剥离技术 | 第21-23页 |
| 第4章 声表面波传感器结构仿真及敏感特性研究 | 第23-41页 |
| ·声表面波传感器结构仿真 | 第23-27页 |
| ·δ函数模型 | 第23-24页 |
| ·COM 模型 | 第24-25页 |
| ·脉冲响应模型 | 第25-26页 |
| ·P 矩阵模型 | 第26页 |
| ·声表面波传感器频率响应的模拟设计 | 第26-27页 |
| ·声表面波传感器敏感特性研究 | 第27-32页 |
| ·声表面波传感器叉指类型 | 第28-29页 |
| ·声表面波传感器敏感器选择 | 第29-30页 |
| ·声表面波传感器的连接匹配 | 第30-32页 |
| ·声表面波温度传感器的制作 | 第32-41页 |
| ·结构设计 | 第32-34页 |
| ·实验测量 | 第34-35页 |
| ·模拟仿真 | 第35-37页 |
| ·结果分析与讨论 | 第37-41页 |
| 第5章 总结及展望 | 第41-43页 |
| ·总结 | 第41页 |
| ·展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及取得的科研成果 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 摘要 | 第47-50页 |
| Abstract | 第50-53页 |