AlN DETF谐振式加速度计设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第9-18页 |
| 1.2.1 基本原理 | 第9-10页 |
| 1.2.2 关键技术 | 第10-14页 |
| 1.2.2.1 激励与检测方式 | 第10-11页 |
| 1.2.2.2 改变刚度方式 | 第11-14页 |
| 1.2.3 难点及解决方案 | 第14-16页 |
| 1.2.3.1 温度特性 | 第14-15页 |
| 1.2.3.2 组装与封装 | 第15-16页 |
| 1.2.4 发展趋势 | 第16-18页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 谐振式加速度计的理论分析 | 第19-32页 |
| 2.1 工作原理 | 第19页 |
| 2.2 力学模型 | 第19-21页 |
| 2.3 谐振梁的理论分析 | 第21-31页 |
| 2.3.1 谐振梁横向振动 | 第21-25页 |
| 2.3.2 轴向力作用下的谐振频率 | 第25-28页 |
| 2.3.3 电极分布 | 第28-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 氮化铝谐振器的设计与分析 | 第32-44页 |
| 3.1 谐振器的结构 | 第32-33页 |
| 3.2 基于有限元方法的优化设计 | 第33页 |
| 3.3 谐振器的结构参数 | 第33-43页 |
| 3.3.1 灵敏度 | 第34-36页 |
| 3.3.2 信号强度 | 第36-38页 |
| 3.3.3 品质因数 | 第38-41页 |
| 3.3.3.1 端部长度 | 第38-39页 |
| 3.3.3.2 振梁间距 | 第39-41页 |
| 3.3.4 谐振特性 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 加速度计整体结构设计与仿真 | 第44-59页 |
| 4.1 设计目标 | 第44-45页 |
| 4.2 微杠杆设计与分析 | 第45-50页 |
| 4.2.1 理论分析 | 第45-49页 |
| 4.2.2 微杠杆设计 | 第49-50页 |
| 4.3 支撑梁 | 第50-51页 |
| 4.4 加速度计整体结构仿真分析 | 第51-58页 |
| 4.4.1 模态分析 | 第52-53页 |
| 4.4.2 灵敏度分析 | 第53-55页 |
| 4.4.3 热应力分析 | 第55-57页 |
| 4.4.4 工作带宽 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 加速度计工艺设计 | 第59-64页 |
| 5.1 工艺流程 | 第59-62页 |
| 5.1.1 电极材料 | 第59-60页 |
| 5.1.2 工艺流程 | 第60-62页 |
| 5.2 版图设计 | 第62-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结 | 第64-67页 |
| 6.1 论文的主要工作 | 第64-65页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第65-66页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 附录 | 第72-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第75页 |
