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NC-AFM探针振动微弱信号检测系统及技术研究

摘要第4-6页
abstract第6-7页
第一章 绪论第10-19页
    1.1 研究背景及意义第10-12页
    1.2 国内外研究现状第12-17页
        1.2.1 原子力显微镜的发展及研究现状第12-15页
        1.2.2 原子力显微镜微弱信号检测方式的比较第15-17页
    1.3 主要研究内容第17-19页
第二章 原子力显微镜原理第19-32页
    2.1 探针与样品之间的相互作用力第19-21页
        2.1.1 范德华力(VanderWallsforce)第19-20页
        2.1.2 静电力(electrostaticforce)第20页
        2.1.3 化学力(Chemicalforce)第20-21页
    2.2 原子力显微镜的工作模式介绍第21-23页
    2.3 非接触式原子力显微镜中原子力调制方式第23-26页
        2.3.1 振幅调制(AM)模式第24-25页
        2.3.2 频率调制(FM)模式第25-26页
    2.4 FM-AFM模式下探针与样品之间相互作用力模型的建立第26-28页
    2.5 FM-NC-AFM频率变化Δf与探针样品相互作用力之间的关系第28-30页
    2.6 悬臂梁振动的稳定条件第30-32页
第三章 探针振动微弱信号检测系统的设计第32-46页
    3.1 光偏转检测方法灵敏度及噪声理论第32-34页
    3.2 光偏转检测系统各模块设计第34-41页
        3.2.1 激光器模块及光路的设计第35-37页
        3.2.2 三维调节光路模块的设计第37-39页
        3.2.3 四象限光电探测器第39-40页
        3.2.4 光偏转检测系统总体设计第40-41页
    3.3 微弱信号前置放大和运算电路设计第41-46页
        3.3.1 I-V转换前置放大电路的设计第41-43页
        3.3.2 光偏转检测系统运算电路设计第43-46页
第四章 光偏转检测系统灵敏度及噪声水平测试第46-50页
    4.1 准直激光的确认第46页
    4.2 运算电路验证光路对准功能的测试第46-47页
    4.3 光偏转检测系统探针振动情况的测试第47-48页
    4.4 光偏转检测系统噪声水平标定第48-50页
第五章 原子力显微镜系统分辨率及功能性测试第50-54页
    5.1 探针与样品间电势差的测定及静电力的补偿第50-51页
    5.2 探针与样品间相互作用力谱的测定第51-52页
    5.3 原子力显微镜原子分辨率图像的测定第52-54页
第六章 总结与展望第54-56页
    6.1 本论文工作总结第54-55页
    6.2 进一步的工作建议第55-56页
参考文献第56-62页
攻读硕士学位期间所取得的研究成果第62-63页
致谢第63-65页

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