| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 本论文研究必要性 | 第13-15页 |
| 1.2 本论文研究背景与国内外研究现状分析 | 第15-23页 |
| 1.2.1 光刻成像理论与模型研究现状分析 | 第15-18页 |
| 1.2.2 用于投影物镜像差检测的成像传感技术研究现状分析 | 第18-20页 |
| 1.2.3 分辨率增强技术研究现状分析 | 第20-22页 |
| 1.2.4 现存问题总结 | 第22-23页 |
| 1.3 本论文研究意义、目标与内容 | 第23-27页 |
| 1.3.1 本论文研究意义和作用 | 第23-24页 |
| 1.3.2 本论文研究目标 | 第24页 |
| 1.3.3 本论文研究内容安排 | 第24-27页 |
| 第2章 矢量光刻成像理论 | 第27-67页 |
| 2.1 成像理论基础 | 第27-35页 |
| 2.1.1 部分相干光源的描述 | 第27-30页 |
| 2.1.2 掩模衍射近场的描述 | 第30-32页 |
| 2.1.3 投影物镜的波像差与偏振像差及表征 | 第32-35页 |
| 2.2 严格矢量光刻成像理论 | 第35-53页 |
| 2.2.1 局部坐标系下的严格矢量光刻成像理论 | 第35-46页 |
| 2.2.2 全局坐标系下的严格矢量光刻成像理论 | 第46-49页 |
| 2.2.3 两种坐标系下的矢量光刻成像模型对比 | 第49-53页 |
| 2.3 严格矢量光刻成像模型正确性验证 | 第53-66页 |
| 2.3.1 非远心投影物镜成像情况 | 第53-62页 |
| 2.3.2 理想双远心投影物镜成像情况 | 第62-66页 |
| 2.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第3章 主要因素对光刻矢量成像性能的影响分析 | 第67-93页 |
| 3.1 投影物镜像差对光刻成像性能的影响 | 第67-81页 |
| 3.1.1 投影物镜波像差对光刻成像性能的影响 | 第67-72页 |
| 3.1.2 投影物镜偏振像差对光刻成像性能的影响 | 第72-81页 |
| 3.2 投影物镜数值孔径误差对光刻成像性能的影响 | 第81-89页 |
| 3.2.1 理论分析 | 第81-87页 |
| 3.2.2 仿真验证 | 第87-89页 |
| 3.3 有效光源部分相干因子误差对光刻成像性能的影响 | 第89-91页 |
| 3.3.1 理论分析 | 第89-90页 |
| 3.3.2 仿真验证 | 第90-91页 |
| 3.4 本章小结 | 第91-93页 |
| 第4章 矢量成像传感技术研究 | 第93-116页 |
| 4.1 提取投影物镜波像差的矢量成像传感技术 | 第94-101页 |
| 4.1.1 波像差提取理论 | 第94-97页 |
| 4.1.2 波像差提取精度分析 | 第97-101页 |
| 4.2 提取投影物镜偏振像差的矢量成像传感技术 | 第101-115页 |
| 4.2.1 偏振像差提取理论 | 第101-110页 |
| 4.2.2 偏振像差提取精度分析 | 第110-115页 |
| 4.3 本章小结 | 第115-116页 |
| 第5章 矢量分辨率增强技术研究 | 第116-129页 |
| 5.1 矢量成像 OPC 技术 | 第116-123页 |
| 5.1.1 基于矢量光刻成像模型的 OPC 技术原理 | 第116-119页 |
| 5.1.2 优化结果与讨论 | 第119-123页 |
| 5.2 矢量成像 SMO 技术 | 第123-128页 |
| 5.2.1 基于矢量光刻成像模型的 SMO 技术原理 | 第123-125页 |
| 5.2.2 优化结果与讨论 | 第125-128页 |
| 5.3 本章小结 | 第128-129页 |
| 结论与展望 | 第129-133页 |
| 参考文献 | 第133-143页 |
| 附录一 | 第143-145页 |
| 附录二 | 第145-147页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第147-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 作者简介 | 第151页 |
