飞秒激光并行加工方法及在FPC微孔加工中的应用研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题的来源、目的、及研究意义 | 第9-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 柔性电路板加工现状 | 第10-12页 |
| 1.3 飞秒激光加工技术及应用现状 | 第12-13页 |
| 1.4 飞秒并行加工技术现状 | 第13-17页 |
| 1.4.1 分束镜法 | 第13-14页 |
| 1.4.2 微透镜阵列法 | 第14-15页 |
| 1.4.3 DOE光学衍射元器件法 | 第15页 |
| 1.4.4 多光束干涉法 | 第15-16页 |
| 1.4.5 空间光调制器 | 第16-17页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 飞秒激光在FPC上的打孔机理 | 第18-30页 |
| 2.1 FPC结构以及特性 | 第18-20页 |
| 2.2 飞秒激光打孔特性 | 第20-21页 |
| 2.3 激光打孔的机理及分类 | 第21-27页 |
| 2.3.1 激光打孔的机理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 飞秒激光与金属材料主要作用机理 | 第22-26页 |
| 2.3.3 激光打孔的方式 | 第26-27页 |
| 2.4 飞秒激光冲击打孔的影响因素 | 第27-29页 |
| 2.4.1 单脉冲能量对打孔的影响 | 第28页 |
| 2.4.2 脉冲数对打孔的影响 | 第28页 |
| 2.4.3 光斑大小对打孔的影响 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 飞秒激光单光束打孔实验 | 第30-40页 |
| 3.1 实验系统设计 | 第30-31页 |
| 3.2 不同单脉冲能量对打孔深度的影响 | 第31-35页 |
| 3.2.1 实验方案设计 | 第31-32页 |
| 3.2.2 实验结果分析 | 第32-35页 |
| 3.3 不同脉冲数对打孔的影响 | 第35-38页 |
| 3.3.1 实验方案设计 | 第35-36页 |
| 3.3.2 实验结果分析 | 第36-38页 |
| 3.4 飞秒激光在FPC上打孔参数分析 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 多光束并行打孔系统设计 | 第40-52页 |
| 4.1 多光束并行打孔光路设计 | 第40-42页 |
| 4.1.1 光路原理设计 | 第40页 |
| 4.1.2 4f系统 | 第40-42页 |
| 4.2 多光束软件原理 | 第42-47页 |
| 4.2.1 液晶空间光调制器实现多光束原理 | 第42-44页 |
| 4.2.2 计算全息图的算法 | 第44-47页 |
| 4.3 控制系统设计 | 第47-51页 |
| 4.3.1 控制系统原理 | 第47-48页 |
| 4.3.2 Labview同步控制软件 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 飞秒激光并行打孔实验 | 第52-59页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 实验材料以及光路 | 第52-54页 |
| 5.3 多光束LABVIEW软件介绍 | 第54页 |
| 5.4 多光束实验 | 第54-58页 |
| 5.4.1 多光束质量实验 | 第54-56页 |
| 5.4.2 多光束数量实验 | 第56-57页 |
| 5.4.3 多光束同步加工实验 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 全文工作总结 | 第59-60页 |
| 6.2 工作展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
