| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 基于AFM微纳结构加工技术研究现状 | 第9页 |
| 1.2.2 基于AFM探针机械刻划加工技术研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.3 基于AFM探针与工作台结合机械刻划加工技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 加工方向对探针刻划加工影响及消除方法研究 | 第15-34页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 AFM金刚石探针刻划实验条件 | 第15-18页 |
| 2.2.1 探针刻划加工装置及实验条件 | 第15-17页 |
| 2.2.2 加工结构的检测方法 | 第17-18页 |
| 2.3 探针不同刻划方向对加工结果影响研究 | 第18-21页 |
| 2.3.1 探针不同刻划方向加工实验过程 | 第18-19页 |
| 2.3.2 采用探针不同刻划方向的加工实验 | 第19-21页 |
| 2.4 采用相同刻划方向的加工方法 | 第21-28页 |
| 2.4.1 带有精密气浮主轴的AFM加工系统 | 第21-22页 |
| 2.4.2 探针相同刻划方向加工方法原理 | 第22-28页 |
| 2.5 采用相同刻划方向加工实验研究 | 第28-33页 |
| 2.5.1 精密气浮主轴调心过程 | 第28-29页 |
| 2.5.2 加工纳米单线结构 | 第29-31页 |
| 2.5.3 加工纳米通道结构 | 第31-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 基于探针轨迹变化的复杂微阶梯结构加工方法研究 | 第34-46页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 基于探针轨迹变化的阵列微结构加工技术 | 第34-37页 |
| 3.2.1 利用探针轨迹变化加工阵列微结构的原理 | 第34-35页 |
| 3.2.2 探针轨迹变化的软件实现 | 第35-37页 |
| 3.3 规则结构加工的探针速度控制 | 第37-38页 |
| 3.4 探针进给速度与工作台速度的匹配关系 | 第38-40页 |
| 3.5 复杂阵列微阶梯结构的加工实验 | 第40-45页 |
| 3.5.1 复杂阵列微阶梯结构的加工过程 | 第40-41页 |
| 3.5.2 三角形阵列微阶梯结构加工实验 | 第41-42页 |
| 3.5.3 圆形阵列微阶梯结构加工实验 | 第42-43页 |
| 3.5.4 平行四边形阵列微阶梯结构加工实验 | 第43-44页 |
| 3.5.5 复合阵列结构微阶梯加工实验 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 基于探针速度变化加工三维微结构方法研究 | 第46-56页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 基于探针速度变化的三维微结构加工技术 | 第46-48页 |
| 4.2.1 利用探针速度变化加工三维微结构的原理 | 第46-47页 |
| 4.2.2 探针速度变化的软件实现 | 第47-48页 |
| 4.3 进给量与加工深度关系的实验研究 | 第48-50页 |
| 4.4 改变探针速度进行复杂结构加工的实验研究 | 第50-55页 |
| 4.4.1 垂直载荷对加工结果的影响分析 | 第50-51页 |
| 4.4.2 微结构波长对加工结果的影响分析 | 第51-53页 |
| 4.4.3 其他复杂三维结构的加工实例 | 第53-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
