射频宽带低插损纵向DMS声表面波滤波器的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 应用背景 | 第10-11页 |
| 1.2 发展及研究概况 | 第11-15页 |
| 1.2.1 滤波器的发展概况 | 第11-12页 |
| 1.2.2 声表面波技术的发展概况 | 第12-13页 |
| 1.2.3 SAW 滤波器的发展概况和现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文研究的内容及意义 | 第15-17页 |
| 第二章 研究声表面滤波器 | 第17-27页 |
| 2.1 指换能器的基本结构、工作原理和基本特性 | 第17-21页 |
| 2.1.1 换能器的基本结构 | 第17页 |
| 2.1.2 换能器的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.1.3 换能器的基本特性 | 第18-21页 |
| 2.2 声表面滤波器的基本结构及工作原理 | 第21-22页 |
| 2.3 声表面波滤波器的基本类型 | 第22-27页 |
| 2.3.1 横向滤波器 | 第22页 |
| 2.3.2 谐振耦合型滤波器 | 第22-25页 |
| 2.3.3 谐振耦合型滤波器的损耗机理 | 第25-27页 |
| 第三章 纵向耦合滤波器建模与仿真设计 | 第27-65页 |
| 3.1 纵向耦合谐振器 | 第27-30页 |
| 3.2 滤波器的耦合模研究 | 第30-45页 |
| 3.2.1 耦合模方程 | 第30-31页 |
| 3.2.2 分析反射栅阵的耦合模 | 第31-35页 |
| 3.2.3 叉指换能器的耦合模分析 | 第35-38页 |
| 3.2.4 COM 方程中耦合参量的提取 | 第38-45页 |
| 3.3 滤波器建模与仿真 | 第45-54页 |
| 3.3.1 矩阵模块法 | 第46-49页 |
| 3.3.2 换能器的传输矩阵 | 第49-50页 |
| 3.3.3 声传输线的传输矩阵 | 第50-51页 |
| 3.3.4 反射栅阵的传输矩阵 | 第51页 |
| 3.3.5 计算Y 和S 矩阵 | 第51-53页 |
| 3.3.6 滤波器级联计算 | 第53-54页 |
| 3.4 研究结构参数对仿真结果的影响 | 第54-65页 |
| 3.4.1 薄膜厚度分析 | 第55-56页 |
| 3.4.2 孔径分析 | 第56-57页 |
| 3.4.3 输入IDT 对数分析 | 第57-58页 |
| 3.4.4 输出IDT 对数分析 | 第58-59页 |
| 3.4.5 反射栅周期分析 | 第59-60页 |
| 3.4.6 反射栅对数分析 | 第60-61页 |
| 3.4.7 IDT 之间的距离分析 | 第61-62页 |
| 3.4.8 IDT 与反射栅之间的距离分析 | 第62-65页 |
| 第四章 滤波器结构参数的多目标优化设计 | 第65-73页 |
| 4.1 声表面波滤波器的优化设计 | 第66-70页 |
| 4.1.1 声表面波滤波器的结构参数 | 第66-67页 |
| 4.1.2 多目标的遗传优化设计 | 第67-70页 |
| 4.2 DMS 滤波器最优结构参数搜索与分析 | 第70-73页 |
| 第五章 制作滤波器与测试分析 | 第73-85页 |
| 5.1 滤波器的制作 | 第73-79页 |
| 5.1.1 传统光刻制作 | 第73-75页 |
| 5.1.2 剥离法制作 | 第75-79页 |
| 5.2 滤波器的测试与分析 | 第79-80页 |
| 5.3 单DMS 滤波器的测试、分析 | 第80-82页 |
| 5.4 双DMS 滤波器级联结构的测试、分析 | 第82-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-88页 |
| 6.1 总结 | 第85-86页 |
| 6.2 展望 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第93-94页 |
