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基于稀土掺杂的高k氧化物薄膜的硅基电致发光器件

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 前言第13-17页
第二章 文献综述第17-81页
    2.1 引言第17-18页
    2.2 稀土发光材料的研究进展第18-47页
        2.2.1 稀土的基本性质第18-21页
        2.2.2 基于稀土掺杂Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的器件的电致发光第21-26页
        2.2.3 基于稀土掺杂硅基材料的器件的电致发光第26-34页
        2.2.4 基于稀土掺杂氧化物半导体材料的器件的电致发光第34-44页
        2.2.5 基于稀土掺杂其它基质材料的器件的电致发光第44-47页
    2.3 CeO_2体系的发光性能研究第47-73页
        2.3.1 CeO_2的基本性质及主要应用简介第47-51页
        2.3.2 纯CeO_2体系发光性能研究进展第51-58页
        2.3.3 稀土掺杂CeO_2体系发光性能研究进展第58-73页
    2.4 ZrO_2体系的发光性能研究第73-79页
    2.5 本章小结第79-81页
第三章 材料和器件的制备方法及表征第81-85页
    3.1 材料和器件的制备设备第81页
        3.1.1 磁控溅射设备第81页
        3.1.2 热处理设备第81页
    3.2 材料和器件的制备工艺第81-82页
        3.2.1 衬底的准备第81-82页
        3.2.2 发光层薄膜的制备第82页
        3.2.3 电极的制备第82页
    3.3 材料和器件性能的表征方法及设备第82-85页
        3.3.1 薄膜厚度、表面形貌和晶体结构、组成的表征第82-83页
        3.3.2 薄膜和器件的光学性能第83-84页
        3.3.3 器件的电学性能第84-85页
第四章 基于CeO_2薄膜的硅基MOS结构器件的紫外-可见电致发光第85-97页
    4.1 引言第85-86页
    4.2 CeO_2薄膜及其构成的MOS器件的制备第86-87页
    4.3 CeO_2薄膜物理性质的表征第87-90页
    4.4 基于CeO_2薄膜的硅基MOS器件的电致发光第90-95页
    4.5 本章小结第95-97页
第五章 基于掺铒CeO_2薄膜的硅基MOS器件的可见及红外电致发光第97-115页
    5.1 引言第97-98页
    5.2 CeO_2:Er薄膜及其MOS结构器件的制备第98-99页
    5.3 CeO_2:Er薄膜的物理性质表征第99-100页
    5.4 CeO_2:Er薄膜的光致发光第100-103页
    5.5 基于CeO_2:Er薄膜的MOS器件的电致发光第103-108页
    5.6 基于CeO_2:Er薄膜的MOS器件的Ⅰ-Ⅴ特性及载流子输运性质第108-110页
    5.7 基于CeO_2:Er薄膜的MOS器件的电致发光机理第110-112页
    5.8 本章小结第112-115页
第六章 基于掺铕CeO_2薄膜的硅基MOS器件的电致发光第115-131页
    6.1 引言第115-116页
    6.2 CeO_2:Eu薄膜及其MOS结构器件的制备第116-117页
    6.3 CeO_2:Eu薄膜的晶相和光学性质表征第117-121页
    6.4 基于CeO_2:Eu薄膜的MOS器件的电致发光第121-122页
    6.5 基于CeO_2:Eu薄膜的MOS器件的Ⅰ-Ⅴ特性及载流子输运性质第122-126页
    6.6 基于CeO_2:Eu薄膜的MOS器件的电致发光机理第126-128页
    6.7 本章小结第128-131页
第七章 基于稀土掺杂ZrO_2薄膜的硅基MOS器件电致发光的探索第131-147页
    7.1 引言第131-132页
    7.2 ZrO_2薄膜及基于ZrO_2薄膜的MOS器件的制备第132-133页
    7.3 ZrO_2薄膜的光致发光性能和XPS表征第133-136页
    7.4 基于ZrO_2薄膜的MOS器件的Ⅰ-Ⅴ特性及电输运性质第136-137页
    7.5 基于ZrO_2薄膜的MOS器件的电致发光第137-139页
    7.6 基于ZrO_2薄膜的MOS器件的电致发光机理第139-140页
    7.7 ZrO_2:RE薄膜的光致发光第140-142页
    7.8 基于ZrO_2:RE薄膜的MOS器件的电致发光第142-145页
    7.9 本章小结第145-147页
第八章 总结第147-151页
    8.1 结论第147-150页
    8.2 展望第150-151页
参考文献第151-167页
致谢第167-169页
个人简历第169-171页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第171-172页

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