基于氧化铜纳米材料的传感器研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2 氧化铜纳米材料概述 | 第13-19页 |
| 1.2.1 氧化铜纳米材料性质 | 第13-14页 |
| 1.2.2 氧化铜纳米材料的制备方法 | 第14-17页 |
| 1.2.3 氧化铜纳米传感器的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 湿度传感器的进展现状 | 第19-20页 |
| 1.4 温度传感器的进展现状 | 第20-21页 |
| 1.5 论文的主要工作和内容 | 第21-23页 |
| 2 纳米氧化铜制备和表征 | 第23-30页 |
| 2.1 化学试剂与实验设备 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第23页 |
| 2.1.2 实验设备 | 第23-24页 |
| 2.2 水热法制备纳米氧化铜 | 第24-26页 |
| 2.3 纳米氧化铜的表征 | 第26-29页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第26-28页 |
| 2.3.2 X射线衍射(XRD) | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 氧化铜纳米结构的介电泳操控 | 第30-38页 |
| 3.1 介电泳技术 | 第30-33页 |
| 3.1.1 介电泳简介 | 第30-32页 |
| 3.1.2 介电泳技术理论 | 第32-33页 |
| 3.2 金属电极的光刻法加工 | 第33-34页 |
| 3.3 氧化铜纳米结构的介电泳操作 | 第34-37页 |
| 3.3.1 介电泳操控系统平台搭建 | 第34-35页 |
| 3.3.2 介电泳操控实验 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 基于纳米氧化铜的湿/温传感器研究 | 第38-50页 |
| 4.1 湿度/温度传感器的测试系统 | 第38-40页 |
| 4.1.1 湿度发生装置 | 第38-39页 |
| 4.1.2 测试仪器 | 第39-40页 |
| 4.1.3 湿度传感器的性能参数 | 第40页 |
| 4.2 氧化铜纳米结构湿度传感测试结果与分析 | 第40-42页 |
| 4.3 氧化铜纳米湿度传感机理的分析 | 第42-43页 |
| 4.4 氧化铜纳米结构的温度传感性能 | 第43-45页 |
| 4.5 CuO纳米结构尺寸效应对传感特性的影响 | 第45-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 5 总结与展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 学术成果 | 第57页 |
