| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源及研究背景 | 第8-10页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 研究背景 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 熔石英超光滑磁流变抛光工艺基础研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 存在的主要问题 | 第12-13页 |
| 1.3 本文研究目的及意义 | 第13页 |
| 1.4 本文研究思路及主要内容 | 第13-15页 |
| 1.4.1 研究思路 | 第13-14页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 熔石英元件超光滑磁流变抛光去除机理 | 第15-25页 |
| 2.1 熔石英材料的理化性质 | 第15-17页 |
| 2.2 熔石英材料超光滑去除机理与本质 | 第17-19页 |
| 2.3 影响熔石英磁流变超光滑抛光去除的主要工艺因素 | 第19-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 熔石英光学元件超光滑表面质量检测与评价 | 第25-33页 |
| 3.1 超光滑光学表面现有表征方法及其局限 | 第25-27页 |
| 3.2 基于功率谱密度的超光滑表面三维评价法 | 第27-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 主要磁流变抛光工艺参数对熔石英超光滑表面质量影响 | 第33-46页 |
| 4.1 磁流变抛浸入深度的影响 | 第34-40页 |
| 4.1.1 实验设计 | 第34-37页 |
| 4.1.2 结果和讨论 | 第37-40页 |
| 4.2 磁场强度的影响 | 第40-45页 |
| 4.2.1 实验设计 | 第41-42页 |
| 4.2.2 结果与讨论 | 第42-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 磁流变抛光液主要特性对熔石英超光滑表面质量的影响 | 第46-57页 |
| 5.1 羰基铁粉粒径的影响 | 第46-50页 |
| 5.1.1 实验设计 | 第47-48页 |
| 5.1.2 结果与讨论 | 第48-50页 |
| 5.2 铁粉表面包覆的影响 | 第50-53页 |
| 5.2.1 实验设计 | 第50-51页 |
| 5.2.2 结果与讨论 | 第51-53页 |
| 5.3 抛光液pH值的影响 | 第53-56页 |
| 5.3.1 实验设计 | 第53-54页 |
| 5.3.2 结果与讨论 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 技术进步 | 第58页 |
| 6.3 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第64页 |
| 附录B 攻读硕士学位期间参加的学术活动 | 第64页 |
