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光纤法珀大压力传感器研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第1章 绪论第8-16页
    1.1 引言第8-9页
    1.2 海洋压力传感技术研究进展第9-13页
        1.2.1 电子式高压传感器第9-10页
        1.2.2 光纤高压传感器第10-13页
    1.3 课题的研究意义及内容第13-16页
第2章 光纤法珀大压力传感器理论研究第16-32页
    2.1 光纤法珀大压力传感器第16-18页
        2.1.1 光纤法珀传感器芯片第16-17页
        2.1.2 光纤法珀大压力传感器芯体第17-18页
        2.1.3 光纤法珀大压力传感器封装第18页
    2.2 光纤法珀大压力传感器的光信号分析模型第18-26页
        2.2.1 低精细度法珀干涉仪的白光干涉传感原理第18-22页
        2.2.2 单晶硅膜片的光学特性第22-24页
        2.2.3 传感器芯片光束传输模型第24-26页
    2.3 光纤法珀大压力传感器的力学分析模型第26-30页
        2.3.1 承受均布载荷圆薄板的轴对称弯曲解析模型第27-29页
        2.3.2 不同边界条件下的薄板挠度公式第29-30页
    2.4 本章小结第30-32页
第3章 光纤法珀大压力传感器设计与制作第32-52页
    3.1 传感器芯片的有限元数值计算模型第32-43页
        3.1.1 传感器芯片有限元模型的建立第32-35页
        3.1.2 腔长变化量的有限元预估方法第35-43页
    3.2 影响法珀腔腔长变化量的其他因素第43-45页
        3.2.1 传感器芯片边长第43-44页
        3.2.2 法珀腔初始腔长第44-45页
        3.2.3 玻璃基底厚度第45页
    3.3 光纤珐珀大压力传感器的制作第45-50页
        3.3.1 光纤法珀传感器芯片的制作第46-49页
        3.3.2 光纤法珀大压力传感器芯体的制作与封装第49-50页
    3.4 本章小结第50-52页
第4章 光纤法珀大压力传感器实验研究第52-68页
    4.1 光纤法珀大压力传感器的解调系统第52-57页
        4.1.1 偏振低相干干涉解调模块第52-55页
        4.1.2 单色频率绝对相位解调算法及其位置相关色散补偿第55-57页
    4.2 压力实验与传感器性能分析第57-65页
        4.2.1 传感器压力测试系统第57-58页
        4.2.2 高压压力测试实验第58-60页
        4.2.3 传感器性能分析第60-65页
    4.3 传感器芯片有限元模型的准确性分析第65-67页
    4.4 本章小结第67-68页
第5章 总结与展望第68-70页
    5.1 工作总结第68-69页
    5.2 展望第69-70页
参考文献第70-74页
发表论文和参加科研情况说明第74-76页
致谢第76-77页

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