| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 海洋压力传感技术研究进展 | 第9-13页 |
| 1.2.1 电子式高压传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 光纤高压传感器 | 第10-13页 |
| 1.3 课题的研究意义及内容 | 第13-16页 |
| 第2章 光纤法珀大压力传感器理论研究 | 第16-32页 |
| 2.1 光纤法珀大压力传感器 | 第16-18页 |
| 2.1.1 光纤法珀传感器芯片 | 第16-17页 |
| 2.1.2 光纤法珀大压力传感器芯体 | 第17-18页 |
| 2.1.3 光纤法珀大压力传感器封装 | 第18页 |
| 2.2 光纤法珀大压力传感器的光信号分析模型 | 第18-26页 |
| 2.2.1 低精细度法珀干涉仪的白光干涉传感原理 | 第18-22页 |
| 2.2.2 单晶硅膜片的光学特性 | 第22-24页 |
| 2.2.3 传感器芯片光束传输模型 | 第24-26页 |
| 2.3 光纤法珀大压力传感器的力学分析模型 | 第26-30页 |
| 2.3.1 承受均布载荷圆薄板的轴对称弯曲解析模型 | 第27-29页 |
| 2.3.2 不同边界条件下的薄板挠度公式 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 光纤法珀大压力传感器设计与制作 | 第32-52页 |
| 3.1 传感器芯片的有限元数值计算模型 | 第32-43页 |
| 3.1.1 传感器芯片有限元模型的建立 | 第32-35页 |
| 3.1.2 腔长变化量的有限元预估方法 | 第35-43页 |
| 3.2 影响法珀腔腔长变化量的其他因素 | 第43-45页 |
| 3.2.1 传感器芯片边长 | 第43-44页 |
| 3.2.2 法珀腔初始腔长 | 第44-45页 |
| 3.2.3 玻璃基底厚度 | 第45页 |
| 3.3 光纤珐珀大压力传感器的制作 | 第45-50页 |
| 3.3.1 光纤法珀传感器芯片的制作 | 第46-49页 |
| 3.3.2 光纤法珀大压力传感器芯体的制作与封装 | 第49-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 光纤法珀大压力传感器实验研究 | 第52-68页 |
| 4.1 光纤法珀大压力传感器的解调系统 | 第52-57页 |
| 4.1.1 偏振低相干干涉解调模块 | 第52-55页 |
| 4.1.2 单色频率绝对相位解调算法及其位置相关色散补偿 | 第55-57页 |
| 4.2 压力实验与传感器性能分析 | 第57-65页 |
| 4.2.1 传感器压力测试系统 | 第57-58页 |
| 4.2.2 高压压力测试实验 | 第58-60页 |
| 4.2.3 传感器性能分析 | 第60-65页 |
| 4.3 传感器芯片有限元模型的准确性分析 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 工作总结 | 第68-69页 |
| 5.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |