| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外发展动态 | 第9-11页 |
| ·本文主要工作 | 第11-12页 |
| 第二章 原理分析 | 第12-33页 |
| ·器件类型及指标 | 第12-14页 |
| ·各器件参数确定 | 第14-32页 |
| ·VDMOS 管参数确定 | 第14-18页 |
| ·高压NPN 管的参数确定 | 第18-20页 |
| ·NPN 管的参数确定 | 第20-22页 |
| ·PNP 管的参数确定 | 第22-25页 |
| ·PMOS 管及高压CMOS 电路参数确定 | 第25-30页 |
| ·二极管及齐纳管器件的兼容设计 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 电路版图设计与优化 | 第33-42页 |
| ·电路版图设计 | 第33-36页 |
| ·版图设计规则 | 第33-34页 |
| ·版图设计 | 第34页 |
| ·版图验证 | 第34-36页 |
| ·VDMOS 元胞优化 | 第36-41页 |
| ·VDMOS 的元胞形状优化 | 第36-37页 |
| ·VDMOS 多晶硅栅长优化 | 第37-39页 |
| ·多元胞VDMOS 排布优化 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 测试结果及分析 | 第42-61页 |
| ·VDMOS 结构版图及测试结果 | 第42-44页 |
| ·高压 NPN 管结构版图及测试结果 | 第44-45页 |
| ·NPN 管结构版图及测试结果 | 第45-46页 |
| ·PNP 管结构版图及测试结果 | 第46-49页 |
| ·POMS 结构版图及测试结果 | 第49-51页 |
| ·NMOS 管结构版图及测试结果 | 第51-52页 |
| ·二极管版图结构及版图设计规则 | 第52-55页 |
| ·总版图结构及整体电路测试 | 第55-58页 |
| ·测试结果分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 附录一 VDMOS 最佳元胞数优化 MATLAB 程序 | 第65-66页 |
| 附录二 Tsuprem4 工艺仿真源程序 | 第66-82页 |