CVD金刚石涂层圆锯片研制及切割性能研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-19页 |
| 1.1 金刚石涂层刀具 | 第7-9页 |
| 1.1.1 金刚石涂层刀具的应用 | 第7-8页 |
| 1.1.2 CVD金刚石涂层刀具的研究现状 | 第8-9页 |
| 1.2 金刚石薄膜材料 | 第9-15页 |
| 1.2.1 金刚石的结构和性能 | 第9-11页 |
| 1.2.2 金刚石薄膜的性能和制备方法 | 第11-15页 |
| 1.3 硬质合金基体上的预处理工艺 | 第15-18页 |
| 1.3.1 硬质合金概述 | 第15-16页 |
| 1.3.2 预处理工艺 | 第16-18页 |
| 1.4 本论文的研究意义与内容 | 第18-19页 |
| 2 预处理工艺研究 | 第19-30页 |
| 2.1 碱处理对硬质合金基体的影响 | 第19-22页 |
| 2.2 酸处理的影响 | 第22-27页 |
| 2.2.1 酸处理对基体的影响 | 第23-25页 |
| 2.2.2 酸处理对薄膜质量的影响 | 第25-27页 |
| 2.3 预处理对结合力的影响 | 第27-30页 |
| 3 沉积工艺研究 | 第30-39页 |
| 3.1 沉积设备 | 第30-31页 |
| 3.2 碳源浓度的影响 | 第31-34页 |
| 3.3 气压的影响 | 第34-36页 |
| 3.4 热丝与衬底间距及热丝功率的影响 | 第36-39页 |
| 4 热丝CVD法制备金刚石涂层锯片 | 第39-55页 |
| 4.1 硬质合金圆锯片 | 第39-40页 |
| 4.2 沉积锯片位置探究 | 第40-43页 |
| 4.3 镜片反射对沉积效果的影响 | 第43-47页 |
| 4.4 镜片反射补偿效果的仿真分析 | 第47-53页 |
| 4.5 改造设备展望 | 第53-55页 |
| 5 涂层刀具的性能 | 第55-66页 |
| 5.1 金刚石薄膜的摩擦磨损实验 | 第55-59页 |
| 5.2 金刚石涂层圆锯片加工实验 | 第59-64页 |
| 5.2.1 金刚石涂层圆锯片的制备 | 第59-61页 |
| 5.2.2 金刚石涂层圆锯片加工实验 | 第61-64页 |
| 5.3 金刚石涂层圆锯片失效分析 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
