基于SIW技术的MEMS可重构滤波器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 基片集成波导与MEMS的基本理论 | 第13-21页 |
| 2.1 基片集成波导的结构与传输特性 | 第13-16页 |
| 2.1.1 矩形波导的简介 | 第13-14页 |
| 2.1.2 基片集成波导结构特性 | 第14页 |
| 2.1.3 基片集成波导与矩形波导的等效 | 第14-15页 |
| 2.1.4 基片集成波导与微带线之间的转换结构 | 第15-16页 |
| 2.2 半模基片集成波导(HMSIW)的简介 | 第16-17页 |
| 2.3 MEMS技术的简介 | 第17-18页 |
| 2.4 MEMS制造技术 | 第18-19页 |
| 2.5 本章总结 | 第19-21页 |
| 第三章 微波滤波器的基本理论与设计基础 | 第21-35页 |
| 3.1 微波滤波器的性能指标 | 第21-23页 |
| 3.2 微波滤波器低通原型 | 第23-28页 |
| 3.2.1 最平坦型低通原型滤波器 | 第23-26页 |
| 3.2.2 切比雪夫低通原型滤波器 | 第26-27页 |
| 3.2.3 椭圆函数型低通滤波器原型 | 第27-28页 |
| 3.3 低通原型滤波器向带通滤波器的变换 | 第28-30页 |
| 3.4 阻抗和导纳变换器的应用 | 第30-32页 |
| 3.5 阻抗导纳变换器的物理实现 | 第32-33页 |
| 3.6 本章总结 | 第33-35页 |
| 第四章 超宽带带通滤波器的设计 | 第35-45页 |
| 4.1 超宽带带通滤波器的研究现状 | 第35-36页 |
| 4.2 非对称缺陷地结构(ADGS)的介绍 | 第36-38页 |
| 4.3 低通高通滤波器级联型带通滤波器的设计 | 第38-43页 |
| 4.3.1 级联IADGS设计低通滤波器 | 第38-41页 |
| 4.3.2 低通高通滤波器级联型超宽带带通滤波器 | 第41-43页 |
| 4.4 本章总结 | 第43-45页 |
| 第五章 基于SIW的MEMS带通滤波器的设计 | 第45-63页 |
| 5.1 SIW带通滤波器的设计过程 | 第45-46页 |
| 5.2 SIW硅基MEMS带通滤波器的设计实例 | 第46-51页 |
| 5.2.1 滤波器各个参数的计算过程 | 第46-48页 |
| 5.2.2 在ADS中验证滤波器的设计 | 第48-49页 |
| 5.2.3 滤波器在HFSS中的建模优化过程 | 第49-51页 |
| 5.3 可重构SIW谐振器的实现 | 第51-53页 |
| 5.4 静电驱动型MEMS梁的结构与设计 | 第53-56页 |
| 5.4.1 MEMS固支梁的研究 | 第54-55页 |
| 5.4.2 MEMS悬臂梁的研究 | 第55-56页 |
| 5.5 带通滤波器可重构的研究 | 第56-62页 |
| 5.5.1 二阶窄带带通滤波器的设计 | 第56-58页 |
| 5.5.2 二阶窄带带通滤波器可重构的实现 | 第58-62页 |
| 5.6 本章总结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |
