| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 引言 | 第8-13页 |
| 1.1 电容式加速度传感器 | 第8-9页 |
| 1.2 电容检测技术 | 第9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-10页 |
| 1.4 差分电容检查与全差分电容检查 | 第10-11页 |
| 1.5 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.6 论文的主要工作 | 第12-13页 |
| 第2章 传感器读出电路的基本结构与实现原理 | 第13-23页 |
| 2.1 传感器读出电路系统结构 | 第13-21页 |
| 2.2 检测电路的优缺点对比 | 第21-22页 |
| 2.3 小结 | 第22-23页 |
| 第3章 全差分电容式传感器的读出电路系统设计 | 第23-29页 |
| 3.1 全差分检测电路实现基本原理 | 第24-25页 |
| 3.2 全差分检测电路运行模式 | 第25-28页 |
| 3.3 小结 | 第28-29页 |
| 第4章 电容式全差分传感器读出电路设计 | 第29-61页 |
| 4.1 参考电压与电流设计 | 第29-36页 |
| 4.2 传感器电容补偿阵列设计 | 第36-38页 |
| 4.3 前置电荷运算放大器设计 | 第38-50页 |
| 4.4 开关电容低通滤波器设计 | 第50-56页 |
| 4.5 输出缓冲器设计 | 第56-58页 |
| 4.6 MEMS电容读出整体电路的仿真与分析 | 第58-60页 |
| 4.7 小结 | 第60-61页 |
| 第5章 全差分电容式传感器读出电路流片、封装及测试 | 第61-67页 |
| 5.1 整体电路版图设计 | 第61页 |
| 5.2 全差分电容式传感器读出电路盖帽图 | 第61-63页 |
| 5.3 参考电源模块测试 | 第63-64页 |
| 5.4 全差分电容式传感器的读出电路测试 | 第64-65页 |
| 5.5 小结 | 第65-67页 |
| 第6章 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 附录A 个人简历 | 第72-73页 |
| 附录B 学校期间发表的学术论文以及研究成果 | 第73页 |