纳米操作系统关键技术分析及驱动装置研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题的来源及研究的目的背景和意义 | 第10页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题的目的 | 第10页 |
| 1.2 背景和意义 | 第10-12页 |
| 1.2.1 背景 | 第10-11页 |
| 1.2.2 意义 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外相关研究现状分析 | 第12-15页 |
| 1.3.1 国外现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 国内现状 | 第13-14页 |
| 1.3.3 粘滑驱动研究现状总结 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容及目标 | 第15-17页 |
| 1.4.1 主要内容 | 第15-16页 |
| 1.4.2 课题的目标 | 第16-17页 |
| 第2章 纳米操作系统的基本原理和组成 | 第17-29页 |
| 2.1 纳米操作系统 | 第17页 |
| 2.2 扫描电子显微镜的结构和工作原理 | 第17-21页 |
| 2.2.1 扫描电镜的结构 | 第18页 |
| 2.2.2 扫描电镜的工作原理 | 第18-21页 |
| 2.3 机械设计 | 第21页 |
| 2.4 机械运动数学模型 | 第21-28页 |
| 2.4.1 空间位置姿态描述和齐次坐标变换 | 第21-24页 |
| 2.4.2 连杆坐标系与齐次变换矩阵 | 第24-27页 |
| 2.4.3 逆向运动学 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 纳米操作系统的设计和集成 | 第29-45页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 纳米操作机的设计 | 第29-34页 |
| 3.2.1 纳米操作机结构运动简图 | 第29-30页 |
| 3.2.2 驱动模块的机械设计 | 第30-34页 |
| 3.2.3 真空法兰的机械设计 | 第34页 |
| 3.3 纳米操作集成真空技术 | 第34-40页 |
| 3.3.1 真空概念 | 第34-35页 |
| 3.3.2 真空密封 | 第35-36页 |
| 3.3.3 真空泵组系统 | 第36页 |
| 3.3.4 真空系统结构设计 | 第36-38页 |
| 3.3.5 操作机的工作空间 | 第38-39页 |
| 3.3.6 真空法兰盘 | 第39页 |
| 3.3.7 真空法兰连接方式 | 第39-40页 |
| 3.4 纳米操作系统的集成方法步骤 | 第40-44页 |
| 3.4.1 操作系统的集成 | 第40-43页 |
| 3.4.2 注意事项 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 纳米操作系统的粘滑驱动实验研究 | 第45-66页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 粘滑驱动的原理 | 第45-46页 |
| 4.3 粘滑驱动系统数学建模和结构设计 | 第46-66页 |
| 4.3.1 粘滑驱动系统的建模 | 第46-55页 |
| 4.3.1.1 压电陶瓷的电学模型 | 第46-49页 |
| 4.3.1.2 压电陶瓷机械动力学建模 | 第49-52页 |
| 4.3.1.3 动摩擦系统模型 | 第52-55页 |
| 4.3.2 模型的仿真 | 第55-62页 |
| 4.3.3 模型结构设计 | 第62-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 1 本文的主要内容 | 第66页 |
| 2 下一步工作计划 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录(A) 机械设计零件 | 第73-74页 |
| 附录(B) 粘滑驱动零件 | 第74-75页 |
| 附录(C) 真空法兰零件 | 第75-76页 |
| 附录(D) Matlab仿真电路 | 第76-77页 |
| 附录(E) 主要参数表 | 第77-78页 |
