半导体晶圆厂气体监控系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 论文的应用价值 | 第8页 |
| 1.2 论文的目的和要解决的实际问题 | 第8-9页 |
| 1.3 论文预期达到的成果和水平 | 第9页 |
| 1.4 国内外相关研究状况以及发展趋势 | 第9-11页 |
| 1.5 论文的逻辑结构 | 第11-12页 |
| 1.6 论文工作涉及的主要步骤 | 第12-13页 |
| 2 半导体晶圆工厂特殊气体供应系统介绍 | 第13-22页 |
| 2.1 半导体工艺制程主要使用的电子气体 | 第13页 |
| 2.2 本系统要检测的气体 | 第13-14页 |
| 2.3 特殊气体供应系统设计的安全性 | 第14-22页 |
| 2.3.1 特殊气体气瓶柜安全性的介绍 | 第14-17页 |
| 2.3.2 特殊气体分配阀箱安全性的介绍 | 第17-19页 |
| 2.3.3 特殊气体供应管路安全性的介绍 | 第19-20页 |
| 2.3.4 特殊气体供应系统供应方式安全性的介绍 | 第20-22页 |
| 3 气体检测器的研究和选择 | 第22-36页 |
| 3.1 气体检测器的介绍 | 第22-27页 |
| 3.1.1 气体检测器的作用介绍 | 第22-23页 |
| 3.1.2 气体传感器的介绍 | 第23-26页 |
| 3.1.3 气体检测器的基本构造的介绍 | 第26页 |
| 3.1.4 气体检测器的采样方式的介绍 | 第26-27页 |
| 3.2 气体检测器的选择 | 第27-32页 |
| 3.2.1 本系统气体检测器的选择 | 第28-32页 |
| 3.3 气体检测器的安装位置选择 | 第32-34页 |
| 3.4 气体检测器的报警值的设定 | 第34-36页 |
| 4 特殊气体侦测系统和联锁功能的优化设计 | 第36-49页 |
| 4.1 系统设计概念和要实现的功能 | 第36-37页 |
| 4.2 系统联锁控制功能设置 | 第37-45页 |
| 4.2.1 气瓶柜(GC)关闭联锁控制 | 第39-40页 |
| 4.2.2 气体阀箱(VMB)关闭联锁控制 | 第40-41页 |
| 4.2.3 机台关闭联锁控制 | 第41-42页 |
| 4.2.4 环境点气体泄漏联锁控制 | 第42-43页 |
| 4.2.5 地震仪联锁控制 | 第43-44页 |
| 4.2.6 广播系统 | 第44-45页 |
| 4.2.7 Local Alarm现场警示系统 | 第45页 |
| 4.3 气体监控系统软件接口操作及控制说明 | 第45-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
