| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题的来源及研究意义 | 第11页 |
| 1.2 高精度微位移平台的主要应用领域 | 第11-13页 |
| 1.3 国内外高精度微位移平台控制系统的发展现状 | 第13页 |
| 1.4 高精度微位移平台监控软件的研究与应用现状 | 第13-15页 |
| 1.5 本文研究的主要内容及组织结构 | 第15-17页 |
| 第二章 高精度微位移平台控制系统通信部分设计 | 第17-29页 |
| 2.1 高精度微位移平台整体结构组成 | 第17-18页 |
| 2.2 控制系统通信方式选择 | 第18-19页 |
| 2.3 控制系统通信部分硬件设计 | 第19-22页 |
| 2.4 控制系统通信部分软件设计 | 第22-28页 |
| 2.4.1 USB固件程序设计 | 第22-25页 |
| 2.4.2 CPLD程序设计 | 第25-26页 |
| 2.4.3 DSP数据传输程序设计 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 高精度微位移平台监控软件的设计 | 第29-45页 |
| 3.1 监控软件设计需求分析 | 第29-30页 |
| 3.2 监控软件功能模块设计 | 第30-32页 |
| 3.3 基于UML的高精度微位移平台监控软件设计模块分析 | 第32-44页 |
| 3.3.1 设计工具UML简介及应用 | 第32-35页 |
| 3.3.2 监控软件用例建模 | 第35-37页 |
| 3.3.3 监控软件对象建模 | 第37-42页 |
| 3.3.4 监控软件组件建模 | 第42页 |
| 3.3.5 监控软件动态建模 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 高精度微位移平台监控软件的实现 | 第45-71页 |
| 4.1 软件开发环境介绍 | 第45-46页 |
| 4.2 人机界面设计与开发 | 第46-50页 |
| 4.2.1 人机界面设计的原则 | 第46页 |
| 4.2.2 主控界面的布局设计与开发 | 第46-48页 |
| 4.2.3 主控界面部分控件开发 | 第48-50页 |
| 4.3 系统分析模块设计与开发 | 第50-54页 |
| 4.3.1 阶跃响应分析实现 | 第50-52页 |
| 4.3.2 信号发生器实现 | 第52页 |
| 4.3.3 频谱分析实现 | 第52-54页 |
| 4.4 位移移动模块设计与开发 | 第54-56页 |
| 4.5 标定分析模块设计与开发 | 第56-59页 |
| 4.5.1 定位误差补偿方法 | 第56-57页 |
| 4.5.2 基于最小二乘法标定分析模块开发 | 第57-58页 |
| 4.5.3 误差补偿实现 | 第58-59页 |
| 4.6 参数配置模块设计与开发 | 第59-60页 |
| 4.7 数据管理模块设计与开发 | 第60-62页 |
| 4.7.1 参数配置文件 | 第60-61页 |
| 4.7.2 数据存储文件 | 第61-62页 |
| 4.7.3 日志文件 | 第62页 |
| 4.8 通信模块设计与开发 | 第62-69页 |
| 4.8.1 USB通信协议格式 | 第63-64页 |
| 4.8.2 封装USB通信的类 | 第64-65页 |
| 4.8.3 USB通信实现 | 第65-67页 |
| 4.8.4 通信协议测试程序 | 第67-69页 |
| 4.9 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 高精度微位移平台监控软件测试及验证 | 第71-79页 |
| 5.1 实验环境介绍 | 第71-72页 |
| 5.2 通信部分测试及验证 | 第72-75页 |
| 5.3 功能模块联机测试及验证 | 第75-77页 |
| 5.3.1 系统分析模块测试及验证 | 第75-76页 |
| 5.3.2 标定分析模块测试及验证 | 第76-77页 |
| 5.3.3 纳米移动模块测试及验证 | 第77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第六章 结论 | 第79-81页 |
| 6.1 结论 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |