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铜铟铝硒薄膜的制备及其性质研究

摘要第6-9页
Abstract第9-12页
第一章 绪论第16-48页
    1.1 引言第16-18页
    1.2 太阳能电池简介第18-22页
        1.2.1 太阳能电池基本原理和关键性能参数第18-20页
        1.2.2 太阳能电池研究发展概况第20-22页
    1.3 铜铟铝硒化合物材料及其器件简介第22-34页
        1.3.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜材料的起源第22-24页
        1.3.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜材料的结构和性质第24-26页
        1.3.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜材料的主要制备方法第26-28页
        1.3.4 Cu(In,Al)Se_2材料及其器件的研究现状第28-34页
    1.4 本论文铜铟铝硒薄膜及其光电器件的制备方法和性能表征手段第34-37页
        1.4.1 磁控溅射和硒化法第34-36页
        1.4.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜及其器件性能表征手段第36-37页
    1.5 本论文的主要研究内容第37-40页
    参考文献第40-48页
第二章 硒化工艺对铜铟铝硒薄膜及其器件的性能研究第48-78页
    2.1 引言第48-49页
    2.2 实验设计思路第49-50页
    2.3 硒化温度对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第50-57页
        2.3.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第50-54页
        2.3.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第54-55页
        2.3.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的X射线光电子能谱分析第55-56页
        2.3.4 Cu(In,Al)Se_2薄膜的透射光谱分析第56-57页
    2.4 硒化气压对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第57-62页
        2.4.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第57-60页
        2.4.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第60-62页
        2.4.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的透射光谱分析第62页
    2.5 硒化温度和气压对Cu(In,Al)Se_2薄膜太阳能电池的性能研究第62-64页
    2.6 硒化时间对Cu(In,Al)Se_2薄膜及其器件性能的研究第64-70页
        2.6.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第64-66页
        2.6.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第66-68页
        2.6.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的硒化机理研究第68-69页
        2.6.4 硒化时间对Cu(In,Al)Se_2薄膜太阳能电池的性能研究第69-70页
    2.7 本章小结第70-72页
    参考文献第72-78页
第三章 组分调控对铜铟铝硒薄膜的性能研究第78-102页
    3.1 引言第78-79页
    3.2 实验设计思路第79-81页
    3.3 Al含量对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第81-83页
        3.3.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第81页
        3.3.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第81-83页
    3.4 Cu含量对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第83-92页
        3.4.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第83-87页
        3.4.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第87-88页
        3.4.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的方块电阻和电导率分析第88-89页
        3.4.4 Cu(In,Al)Se_2薄膜的X射线光电子能谱分析第89-90页
        3.4.5 Cu(In,Al)Se_2薄膜的透射光谱分析第90-92页
    3.5 Se/S质量比对Cu(In,AI)(Se,S)_2薄膜性能的研究第92-94页
        3.5.1 Cu(In,Al)(Se,S)_2薄膜的结构表征第92-93页
        3.5.2 Cu(In,Al)(Se,S)_2薄膜的微观形貌和组分表征第93-94页
    3.6 本章小结第94-96页
    参考文献第96-102页
第四章 金属前驱体预处理对铜铟铝硒薄膜及其器件的性能研究第102-124页
    4.1 引言第102-103页
    4.2 实验设计思路第103-104页
    4.3 前驱体预处理温度对Cu(In,Al)Se_2薄膜及其器件性能的研究第104-114页
        4.3.1 前驱体薄膜的结构表征第104-106页
        4.3.2 前驱体薄膜的微观形貌表征第106-107页
        4.3.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第107-109页
        4.3.4 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第109-111页
        4.3.5 Cu(In,Al)Se_2薄膜的光致发光光谱分析第111-112页
        4.3.6 前驱体预处理温度对Cu(In,Al)Se_2薄膜太阳能电池的性能分析第112-114页
    4.4 前驱体预处理时间对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第114-119页
        4.4.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第114-116页
        4.4.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第116-118页
        4.4.3 Cu(In,Al)Se_2薄膜的光致发光光谱分析第118-119页
    4.5 本章小结第119-120页
    参考文献第120-124页
第五章 V族元素(Sb或Bi)掺杂对铜铟铝硒薄膜及其器件的性能研究第124-156页
    5.1 引言第124-125页
    5.2 实验设计思路第125-126页
    5.3 Sb元素掺杂对Cu(In,Al)Se_2薄膜及器件性能的研究第126-138页
        5.3.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第126-131页
        5.3.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌和组分表征第131-133页
        5.3.3 Sb掺杂对Cu(In,Al)Se_2薄膜晶粒生长的机理研究第133-134页
        5.3.4 Cu(In,Al)Se_2薄膜的吸收光谱分析第134-136页
        5.3.5 Cu(In,Al)Se_2薄膜的光致发光光谱分析第136-137页
        5.3.6 Cu(In,Al)Se_2薄膜的电学性能研究第137-138页
    5.4 前驱体中不同位置的Sb掺杂对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第138-142页
        5.4.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第138-140页
        5.4.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌表征第140-141页
        5.4.3 不同的Sb掺杂位置对Cu(In,Al)Se_2薄膜晶粒生长的机理研究第141-142页
    5.5 Bi元素掺杂对Cu(In,Al)Se_2薄膜性能的研究第142-148页
        5.5.1 Cu(In,Al)Se_2薄膜的结构表征第142-144页
        5.5.2 Cu(In,Al)Se_2薄膜的微观形貌表征第144-146页
        5.5.3 Bi掺杂促进Cu(In,Al)Se_2薄膜晶粒生长的机理研究第146-147页
        5.5.4 Cu(In,Al)Se_2薄膜的吸收光谱分析第147-148页
    5.6 本章小结第148-150页
    参考文献第150-156页
第六章 总结与展望第156-160页
    6.1 总结第156-159页
    6.2 展望第159-160页
附录Ⅰ 攻读博士学位期间科研成果清单第160-166页
附录Ⅱ 致谢第166-167页

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