| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第15-17页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第15-16页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第16-17页 |
| 1.2 单组合设备和多组合设备的生产调度概述 | 第17-22页 |
| 1.2.1 单组合设备的结构 | 第17-18页 |
| 1.2.2 多组合设备的结构 | 第18-19页 |
| 1.2.3 单组合设备的调度与控制 | 第19-20页 |
| 1.2.4 多组合设备的调度与控制 | 第20-22页 |
| 1.3 本研究课题的研究内容 | 第22-24页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第22页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 Petri网简介 | 第24-32页 |
| 2.1. 引言 | 第24页 |
| 2.2. Petri网的基本概念 | 第24-26页 |
| 2.3. 面向进程的Petri网 | 第26-28页 |
| 2.4. 面向资源的Petri网 | 第28-31页 |
| 2.5. 小结 | 第31-32页 |
| 第三章 缓冲模块容量为2的单臂多组合设备的最优1-晶圆周期调度 | 第32-56页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 Petri网建模 | 第33-40页 |
| 3.2.1 K-组合设备的Petri网建模 | 第34-39页 |
| 3.2.2 活动时间建模 | 第39-40页 |
| 3.3 单组合设备的动态特性 | 第40-42页 |
| 3.4 K-组合设备的调度 | 第42-51页 |
| 3.4.1 调度特性 | 第42-43页 |
| 3.4.2 最优的1-晶圆周期调度 | 第43-48页 |
| 3.4.3 调度的实现 | 第48-51页 |
| 3.5 实例分析 | 第51-54页 |
| 3.6 结论 | 第54-56页 |
| 第四章 缓冲模块容量为1的混合多组合设备的最优1-晶圆周期调度 | 第56-84页 |
| 4.1 引言 | 第56-57页 |
| 4.2 Petri网建模 | 第57-63页 |
| 4.2.1. 混合K-组合设备的Petri网模型 | 第57-61页 |
| 4.2.2. 活动时间建模 | 第61-63页 |
| 4.3 单组合设备的动态特性 | 第63页 |
| 4.4 生产周期可达下界的1-晶圆周期调度 | 第63-70页 |
| 4.4.1. 调度特性 | 第64-68页 |
| 4.4.2. 具有下界生产周期的1-晶圆周期调度 | 第68-70页 |
| 4.5 最优的1-晶圆周期调度 | 第70-80页 |
| 4.5.1. 混合2-组合设备的最优1-晶圆周期调度 | 第71-74页 |
| 4.5.2. 混合K-组合设备的最优1-晶圆周期调度(K>2) | 第74-80页 |
| 4.6 实例分析 | 第80-83页 |
| 4.7 结论 | 第83-84页 |
| 第五章 带晶圆逗留时间约束的混合多组合设备最优1-晶圆周期调度 | 第84-103页 |
| 5.1 引言 | 第84-85页 |
| 5.2 Petri网建模 | 第85-86页 |
| 5.3 动态特性分析 | 第86-88页 |
| 5.3.1 单台设备的调度需要 | 第86-88页 |
| 5.3.2 整体调度需要 | 第88页 |
| 5.4 可调度性以及调度算法 | 第88-99页 |
| 5.5 实例分析 | 第99-102页 |
| 5.6 结论 | 第102-103页 |
| 结论 | 第103-106页 |
| 总结 | 第103-104页 |
| 未来的工作展望 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-116页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第116-120页 |
| 致谢 | 第120页 |
