可调谐MEMS谐振器关键技术研究及应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| ·微机电系统简介 | 第7页 |
| ·微谐振器简介 | 第7-17页 |
| ·谐振器的振动激励 | 第7-9页 |
| ·不同谐振器原理 | 第9-13页 |
| ·微谐振器的主要应用 | 第13-17页 |
| ·研究的目的与意义 | 第17页 |
| ·论文的主要工作 | 第17-19页 |
| 第二章 微谐振器的结构模型及原理 | 第19-33页 |
| ·微谐振器模型及工作原理 | 第19-20页 |
| ·谐振器设计原理 | 第20-29页 |
| ·微梁的轴向拉伸与压缩 | 第20-21页 |
| ·调节电极处施加调节电压产生静电力计算 | 第21-22页 |
| ·单自由度系统谐振时动力学方程 | 第22-25页 |
| ·微谐振器的关键参数 | 第25-26页 |
| ·谐振时阻尼计算 | 第26-29页 |
| ·微谐振器结构与参数设计 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 微谐振器频域分析 | 第33-47页 |
| ·频率方程求解 | 第33-36页 |
| ·频率方程分析 | 第36-41页 |
| ·理论分析 | 第36-37页 |
| ·利用 matlab 语言编程对频率仿真分析 | 第37-41页 |
| ·频域仿真 | 第41-45页 |
| ·动态响应分析 | 第41-43页 |
| ·幅频响应仿真 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 COMSOL 仿真 | 第47-59页 |
| ·微谐振器的模态分析 | 第47-51页 |
| ·模态分析简介 | 第47页 |
| ·微谐振器的模态分析 | 第47-51页 |
| ·微谐振器动力耦合分析 | 第51-57页 |
| ·微驱动器静电-结构耦合分析 | 第51-54页 |
| ·稳态求解 | 第54-55页 |
| ·幅频特性分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 谐振器的电学特性仿真 | 第59-71页 |
| ·机电类比 | 第59-62页 |
| ·串联谐振系统机电类比 | 第59-60页 |
| ·并联谐振系统机电类比 | 第60-61页 |
| ·机电类比参数对应 | 第61-62页 |
| ·等效电路 | 第62-64页 |
| ·等效电路 ADS 仿真 | 第64-69页 |
| ·谐振器参数值计算 | 第64-66页 |
| ·ADS 射频软件仿真 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 谐振器的滤波器应用 | 第71-79页 |
| ·滤波器简介 | 第71-72页 |
| ·滤波器机电等效分析 | 第72-74页 |
| ·滤波器结构及原理 | 第72-73页 |
| ·等效电路模型建立 | 第73-74页 |
| ·ADS 建模与仿真 | 第74-77页 |
| ·计算建模参数 | 第74-75页 |
| ·仿真优化 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第七章 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79-80页 |
| ·论文不足与展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 在读期间科研成果 | 第87-89页 |
| 附录 | 第89-90页 |
