| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-21页 |
| ·微机电系统（MEMS）的基本概念 | 第7-12页 |
| ·微机电系统的特点 | 第7-8页 |
| ·MEMS 存在的问题 | 第8-9页 |
| ·MEMS 的应用 | 第9-11页 |
| ·MEMS 的发展现状及预测 | 第11-12页 |
| ·微驱动器简介 | 第12-19页 |
| ·微驱动器的驱动原理 | 第12-16页 |
| ·微驱动器的驱动方式与分类 | 第16-17页 |
| ·微驱动器存在的问题 | 第17-18页 |
| ·微驱动器国内外研究现状 | 第18-19页 |
| ·研究的意义与所做主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS 微驱动器原理 | 第21-27页 |
| ·MEMS 微驱动器的模型结构及设计原理 | 第21-25页 |
| ·MEMS 微驱动器的结构 | 第21-22页 |
| ·MEMS 微驱动器设计原理分析 | 第22-25页 |
| ·MEMS 微驱动器的材料选取与结构参数 | 第25-26页 |
| ·MEMS 微驱动器各部分结构材料选择 | 第25页 |
| ·微驱动器的结构参数设定 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 MEMS 微驱动器静力分析与结构的优化设计 | 第27-47页 |
| ·MEMS 微梁的受力分析及计算 | 第27-32页 |
| ·欧拉临界载荷 | 第27-29页 |
| ·轴向载荷的构成及外构架内壁间距的相关计算 | 第29-32页 |
| ·横向载荷的计算 | 第32页 |
| ·纵横载荷作用下的微驱动器静态变形分析 | 第32-45页 |
| ·微驱动器中微梁的变形理论分析 | 第32-34页 |
| ·纵横载荷作用下微梁的仿真分析 | 第34-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 MEMS 微驱动器的加工与装配 | 第47-61页 |
| ·MEMS 加工工艺 | 第47-53页 |
| ·硅基加工技术 | 第47-49页 |
| ·光刻技术 | 第49-50页 |
| ·刻蚀工艺 | 第50-53页 |
| ·驱动器的制作工艺 | 第53-57页 |
| ·版图设计 | 第53-55页 |
| ·流片设计 | 第55-57页 |
| ·驱动器的装配 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 RF-MEMS 开关 | 第61-67页 |
| ·MEMS 开关概述 | 第61-63页 |
| ·MEMS 开关的结构和分类 | 第61页 |
| ·开关的驱动方式及特点介绍 | 第61-62页 |
| ·MEMS 开关的特点 | 第62页 |
| ·开关的相关参数 | 第62-63页 |
| ·RF MEMS 的应用 | 第63页 |
| ·RF MEMS 开关的仿真 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 在校期间研究成果 | 第75-76页 |