| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·MEMS 加速度传感器 | 第9-11页 |
| ·基于声学原理的 MEMS 加速度传感器 | 第11-19页 |
| ·研究现状 | 第11-18页 |
| ·存在的问题 | 第18-19页 |
| ·研究目的与研究内容 | 第19页 |
| ·研究目的 | 第19页 |
| ·研究内容 | 第19页 |
| ·小结 | 第19-21页 |
| 2 基于声光效应的 MEMS 加速度传感器 | 第21-43页 |
| ·声光互作用 | 第21-22页 |
| ·传感器结构与工作原理 | 第22-28页 |
| ·传感器敏感元新结构 | 第23-24页 |
| ·传感器工作原理 | 第24-26页 |
| ·原理验证实验 | 第26-28页 |
| ·SAW 在 ZnO-SiO2-Si 结构中的传输 | 第28-37页 |
| ·递归渐近法 | 第29-32页 |
| ·SiO2层厚度对 SAW 传输特性的影响 | 第32-34页 |
| ·ZnO 层厚度对 SAW 传输特性的影响 | 第34-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-37页 |
| ·传感器灵敏度分析 | 第37-40页 |
| ·悬臂梁的应变应力分布 | 第38-39页 |
| ·灵敏度分析 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-43页 |
| 3 基于声光效应的 MEMS 加速度传感器敏感元的设计 | 第43-69页 |
| ·SAW 谐振器的设计 | 第43-56页 |
| ·耦合模模型 | 第43-45页 |
| ·模型参数的提取 | 第45-48页 |
| ·P 矩阵法 | 第48-52页 |
| ·SAW 谐振器的仿真与设计 | 第52-56页 |
| ·光波导系统设计 | 第56-64页 |
| ·光波导的选型 | 第56-57页 |
| ·单模矩形光波导的设计 | 第57-59页 |
| ·波导偏振器的设计 | 第59-62页 |
| ·声光作用区锥形波导的设计 | 第62-64页 |
| ·悬臂梁结构设计 | 第64-67页 |
| ·小结 | 第67-69页 |
| 4 基于声光效应的 MEMS 加速度传感器敏感元芯片的加工技术 | 第69-81页 |
| ·工艺流程 | 第69-71页 |
| ·光刻掩膜版图 | 第71-73页 |
| ·关键加工工艺 | 第73-80页 |
| ·石英脊型悬臂梁的制备 | 第73-75页 |
| ·叉指换能器的制备 | 第75-76页 |
| ·光波导系统的加工 | 第76-79页 |
| ·敏感元芯片及其封装 | 第79-80页 |
| ·小结 | 第80-81页 |
| 5 基于声光效应的 MEMS 加速度传感器的测试与分析 | 第81-93页 |
| ·SAW 振荡电路 | 第81-86页 |
| ·SAW 振荡器原理 | 第81-83页 |
| ·SAW 谐振器的测试 | 第83-84页 |
| ·振荡电路的设计 | 第84-86页 |
| ·加速度传感器原理样机的测试 | 第86-92页 |
| ·测试平台 | 第86-88页 |
| ·测试结果与分析 | 第88-92页 |
| ·小结 | 第92-93页 |
| 6 总结 | 第93-97页 |
| ·总结 | 第93-94页 |
| ·论文的创新点 | 第94页 |
| ·有待解决的问题 | 第94-95页 |
| ·后期研究工作展望 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-107页 |
| 附录 | 第107页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表、录用的论文目录 | 第107页 |
