BST薄膜电容高频性能表征研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 绪论	第10-16页
·微波介质可调材料	第10-11页
·BST 铁电变容管概况	第11-15页
·介质薄膜高频测试方法	第15页
·研究内容	第15-16页
第二章 BST 铁电薄膜变容管制备工艺	第16-24页
·BST 薄膜的制备	第16-20页
·BST 靶材制备工艺	第17-19页
·BST 薄膜射频磁控溅射工艺	第19-20页
·BST 薄膜变容管制备工艺	第20-23页
·电极制备工艺	第20-23页
·变容管中介质薄膜制备工艺	第23页
·本章小结	第23-24页
第三章 BST 变容管高频性能表征方法研究	第24-48页
·典型高频表征方法	第24-29页
·共面波导传输线法	第24-26页
·谐振法	第26-27页
·电容法	第27-29页
·同心圆结构及表征方法	第29-34页
·同心圆结构及测试方法	第29-31页
·同心圆结构测试分析	第31-34页
·平行板电容结构及表征方法	第34-46页
·典型平行板电容结构	第34-37页
·单端口 GSG 探针测试	第37-42页
·双端口 GSG 探针测试	第42-46页
·本章小结	第46-48页
第四章 BST 变容管高频结构及性能研究	第48-58页
·电极厚度对变容管的影响	第49-51页
·电极大小对变容管的影响	第51-54页
·电极长宽比对变容管的影响	第54-56页
·本章小结	第56-58页
第五章 结论	第58-60页
致谢	第60-61页
参考文献	第61-66页
攻硕期间取得的研究成果	第66-67页