机刻光栅制造系统结构特性与精度控制研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 插图 | 第12-15页 |
| 表格 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-30页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·研究背景及意义 | 第16-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第16-20页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第20-27页 |
| ·机刻光栅制造系统的研究现状 | 第20-22页 |
| ·机刻光栅系统结构精度规划及结构优化研究现状 | 第22-23页 |
| ·非线性系统辨识的国内外研究现状 | 第23-24页 |
| ·超精密工作台及其控制精度的国内外研究现状 | 第24-27页 |
| ·论文的选题及主要研究内容 | 第27-30页 |
| ·论文的选题 | 第27页 |
| ·论文拟解决的关键问题 | 第27-28页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第28-30页 |
| 第2章 机刻光栅光学性能与机械性能的映射机制 | 第30-44页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·机刻光栅的加工及工作原理 | 第30-32页 |
| ·机刻光栅的基本光学性能 | 第32-35页 |
| ·机刻光栅光学性能与光栅刻划机机械性能映射关系 | 第35-43页 |
| ·光栅的周期误差和累计误差 | 第36-37页 |
| ·分度系统的精度分配 | 第37-40页 |
| ·刻线累积误差的的精度分配 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 衍射光栅刻划机结构特性解析 | 第44-64页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·机刻光栅系统构成原理 | 第44-47页 |
| ·机刻光栅刻划系统构成原理 | 第45-46页 |
| ·机刻光栅分度系统构成原理 | 第46-47页 |
| ·光栅宏微驱动副特性分析 | 第47-53页 |
| ·丝杠螺母传动机构特性分析 | 第48-50页 |
| ·光栅压电驱动结构特性分析 | 第50-53页 |
| ·机刻光栅精密工作台爬行现象分析 | 第53-62页 |
| ·爬行现象理论分析 | 第54-56页 |
| ·爬行现象仿真分析 | 第56-59页 |
| ·爬行现象实验分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第4章 基于果蝇优化算法的微位移部件多目标优化 | 第64-78页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·多目标优化问题 | 第64-66页 |
| ·多目标优化数学模型 | 第64-65页 |
| ·多目标优化算法 | 第65-66页 |
| ·果蝇优化算法 | 第66-71页 |
| ·果蝇优化算法概念及步骤 | 第66-67页 |
| ·果蝇优化算法求最大值能力分析 | 第67-68页 |
| ·果蝇优化算法求最小值能力分析 | 第68-69页 |
| ·果蝇优化算法求全局极大值能力分析 | 第69-71页 |
| ·精密工作台驱动弹性片结构多目标优化 | 第71-75页 |
| ·本章小结 | 第75-78页 |
| 第5章 机刻光栅精密定位信号测量分析及精度控制 | 第78-112页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·机刻光栅精定位测量系统 | 第78-91页 |
| ·测量系统的选择 | 第78-84页 |
| ·测量系统精度分析 | 第84-91页 |
| ·基于HHT的机刻光栅精密定位信号特征识别 | 第91-103页 |
| ·HHT原理 | 第91-94页 |
| ·基于HHT的精密定位振动信号分析 | 第94-98页 |
| ·基于HI-IT的精定位系统非线性特征识别 | 第98-103页 |
| ·基于RBF神经网络的光栅精密定位PID控制 | 第103-110页 |
| ·RBF神经网络的结构和算法 | 第104-106页 |
| ·基于RBF-PID控制的光栅定位性能 | 第106-110页 |
| ·本章小结 | 第110-112页 |
| 第6章 总结与展望 | 第112-116页 |
| ·主要研究工作 | 第112-113页 |
| ·论文研究中的新思路和新方法 | 第113-114页 |
| ·后续工作展望 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-126页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第126-128页 |
| 致谢 | 第128页 |
