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硅基微结构气体传感器的设计及特性研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
第一章 绪论第8-18页
   ·引言第8-9页
   ·气体传感器的分类第9-11页
   ·微结构气体传感器第11-15页
   ·Fe_2O_3的气敏应用研究第15-16页
   ·本文的主要研究内容第16-18页
第二章 微结构气体传感器的设计第18-31页
   ·微热板的设计与优化第18-27页
   ·微热板的制作第27-29页
   ·小结第29-31页
第三章 Fe_2O_3气敏特性研究第31-47页
   ·实验部分第31-35页
   ·Fe_2O_3制备工艺优化第35-40页
   ·MWNTs / Fe_2O_3气敏特性研究第40-46页
   ·小结第46-47页
第四章 微结构气体传感器第47-51页
   ·微结构气敏元件的制作及性能测试第47-49页
   ·小结第49-51页
第五章 结论第51-53页
参考文献第53-60页
作者简介及在学期间所取得的科研成果第60-61页
致谢第61页

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