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纳米结构ZnO的制备及其性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-12页
第1章 绪论第12-23页
   ·ZnO 的基本性质第12-13页
   ·ZnO 薄膜的制备、性能及应用第13-18页
     ·ZnO 薄膜的制备第13-15页
     ·ZnO 薄膜的性能与应用第15-16页
     ·ZnO 薄膜的研究现状第16-18页
   ·一维棒状 ZnO 的制备、性能及应用第18-21页
     ·一维棒状 ZnO 的制备技术第18-19页
     ·一维棒状 ZnO 的应用及性能第19-20页
     ·一维棒状 ZnO 的研究现状第20-21页
   ·ZnO 基稀磁半导体第21页
   ·本文研究的主要内容第21-23页
第2章 ZnO 薄膜的制备及分析测试技术第23-27页
   ·薄膜制备装置第23-24页
   ·薄膜样品的制备第24-25页
     ·靶材制备第24页
     ·衬底的选择及预处理过程第24-25页
     ·ZnO 薄膜制备方法及工艺条件第25页
   ·ZnO 薄膜表征方法第25-27页
     ·X 射线衍射分析第25页
     ·扫描电子显微镜分析第25-26页
     ·薄膜电性能测试第26页
     ·薄膜的光学性能测试第26页
     ·磁性能的测量第26-27页
第3章 ZnO 薄膜组织结构和性能研究第27-34页
   ·引言第27页
   ·沉积气压对 ZnO 薄膜结构的影响第27-30页
   ·沉积气压对 ZnO 薄膜性能的影响第30-33页
     ·光学性能第30-31页
     ·由导带-价带本征吸收求带隙第31-33页
     ·电学性能第33页
   ·本章小结第33-34页
第4章 Co 掺杂对 ZnO 薄膜的结构和性能的影响第34-46页
   ·引言第34页
   ·工艺条件及掺杂浓度对 ZnO 薄膜结构的影响第34-38页
     ·Co 元素掺杂浓度对薄膜结构与形貌的影响第34-35页
     ·氧气压对薄膜的结构和形貌的影响第35-36页
     ·衬底温度对薄膜结构和形貌的影响第36-38页
   ·在空气中静置一段时间后的结构及形貌变化第38-40页
   ·制备工艺与 Co 掺杂对薄膜光学性能的影响第40-45页
     ·Co 掺杂浓度对光学性能的影响第40-42页
     ·氧气压对光学性能的影响第42-44页
     ·衬底温度对光学性能的影响第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第5章 Al 掺杂对 ZnO 薄膜的结构和性能的影响第46-54页
   ·引言第46页
   ·Al 元素掺杂浓度对薄膜结构与结晶性的影响第46-48页
   ·Al 元素掺杂浓度对薄膜性能的影响第48-49页
     ·光学性能第48-49页
     ·电学性能第49页
   ·Al/ZnO 双层膜的结构与性能第49-53页
     ·Al/ZnO 双层膜及其退火后的结构第50-52页
     ·Al/ZnO 双层膜及其退火后对薄膜光学性能的影响第52-53页
   ·本章小结第53-54页
第6章 ZnO 纳米棒的制备与性能研究第54-63页
   ·引言第54页
   ·ZnO 纳米棒的制备与表征第54-58页
     ·溶胶-凝胶法制备 ZnO 纳米棒第54页
     ·ZnO 纳米棒的结构分析与形貌表征第54-57页
     ·ZnO 纳米棒的光学性能第57-58页
   ·Zn_(0.9)Ni_(0.1)O 稀磁半导体的制备与表征第58-62页
     ·Zn_(0.9)Ni_(0.1)O 稀磁半导体的制备第58页
     ·Zn_(0.9)Ni_(0.1)O 稀磁半导体的结构表征第58-60页
     ·Zn_(0.9)Ni_(0.1)O 的磁学性质第60-62页
   ·本章小结第62-63页
结论第63-64页
参考文献第64-69页
附录 A 攻读硕士期间所发表的学术论文目录第69-70页
致谢第70-71页

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